Gd靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究

发布时间：2017-11-05 19:13

  本文关键词：Gd靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究

  更多相关文章： 极紫外光刻 极紫外光源 激光Gd等离子体 光源碎屑

【摘要】：本文对Gd靶激光等离子体极紫外光源进行了实验研究,在6.7 nm附近获得了较强的辐射,并研究了6.7nm附近光辐射随打靶激光功率密度变化的规律以及收集角度对极紫外辐射的影响.同时,对平面Gd靶激光等离子光源的离子碎屑角分布进行了测量,发现从靶面的法线到沿着靶面平行方向上Gd离子数量依次减少.进一步研究结果表明采用0.9 T外加磁场的条件下可取得较好的Gd离子碎屑阻挡效果.
【作者单位】： 长春理工大学理学院;
【基金】：国家自然科学基金(批准号:61178022) 长春市科技局项目(批准号:14KP007)资助的课题~~
【分类号】：TM923.01
【正文快照】： 1引言随着13.5 nm极紫外光刻研发工作进入尾声[1 4],世界众多的研究机构又开始了新一轮的更短工作波长、分辨率可优于8 nm的下一代极紫外光刻的研究工作.在这方面,当前采用工作波长为6.7 nm极紫外光刻光源为该领域的研究热点[5].类似于13.5 nm极紫外光刻的情形[6],亚-10 nm极

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