微型电磁继电器的仿真与加工工艺研究

发布时间：2018-01-04 22:03

  本文关键词：微型电磁继电器的仿真与加工工艺研究　出处：《电子器件》2014年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于集成。用ANSYS和MATLAB仿真分析各参数对微继电器性能的影响,对其进行优化分析和理论验证。该微型继电器能产生最大60 m N左右的驱动力,实现30μm的驱动行程,满足性能要求。运用UV-LIGA技术,完成工艺的流程设计。通过反复实验,提出了增强金属与基底的粘附性的有效方法。
[Abstract]:A new type of MEMS miniature relay is designed. The relay adopts electromagnetic driving mode. The size of the relay is about 1.2 mm 脳 1 mm 脳 1 mm, the driving force is large and the volume is small. ANSYS and MATLAB are used to simulate and analyze the effect of each parameter on the performance of microrelay. Optimization analysis and theoretical verification are carried out. The micro relay can produce a driving force of about 60 mn, achieve a drive stroke of 30 渭 m, and meet the performance requirements. UV-LIGA technology is used. Through repeated experiments, an effective method to enhance the adhesion between metal and substrate is proposed.
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学仪器与电子学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(61401405,51475438) 山西省基础研究项目(2014011021-4) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
【分类号】：TM58
【正文快照】： 继电器作为一种重要的机电元件广泛地应用于各种通信、航空航天和工业自动控制系统中[1]。传统继电器体积大、响应速度慢等缺点,已经不再能够满足我们的需要。相比于传统机械继电器,微型继电器具有体积小、响应快、插入损耗低、功耗低等优点[2]。微电子机械系统MEMS(Micro-Ele

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1380269