微能源研究进展述评

发布时间：2018-01-29 18:32

本文关键词： MEMS系统微加工技术微能源微电池微发电机　出处：《制造业自动化》2014年23期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等缺点,许多学者都致力于研究新型微能源供电装置。通过分析国内外参考文献,对微能源领域当前研究热点进行介绍,包括:微型锌镍电池、微型锂电池、微型燃料电池、微型太阳能电池、微型同位素电池、微型内燃机、振动驱动微能源、摩擦发电机。多种微能源装置各有特点,重点阐述了每种微能源装置的工作原理、研究现状以及当前研究需要克服的难题,最后概括了微能源装置的未来发展趋势。
[Abstract]:With the improvement of micromachining technology and microelectronics technology, MEMS has been developed rapidly. The energy supply device is an important part of MEMS. Ordinary energy power supply devices have the disadvantages of large size, low energy density, short life, and so on. Many scholars have devoted themselves to the study of new micro-energy power supply devices, through the analysis of domestic and foreign references. The current research hotspots in the field of micro energy are introduced, including: micro zinc nickel battery, micro lithium battery, micro fuel cell, micro solar cell, micro isotope battery, micro internal combustion engine, vibration driven micro energy. Friction generator. A variety of micro-energy devices have their own characteristics. The working principle of each micro-energy device, research status and the current research needs to overcome the difficulties. Finally, the future development trend of micro-energy equipment is summarized.
【作者单位】：枣庄科技职业学院;
【分类号】：TM91-1
【正文快照】： 0引言微机电系统通常被称为MEMS系统(Microelectro mechanical system),是随着微机械加工技术和微电子技术的发展而逐渐形成的先进制造技术平台,其突出特点是在微尺寸系统中集成了微传感器、微执行器、接口电路、微能源等多种装置[1]。一般来说,MEMS系统性能稳定、精度较高,适

【参考文献】

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4 文玉梅;江小芳;杨进;代显智;李平;;采用复合磁电换能器的振动能量采集器研究[J];传感技术学报;2009年09期

5 姚贤旺;苑伟政;乔大勇;臧博;;4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池(英文)[J];传感技术学报;2010年10期

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