铬掺杂的金属极板氮化钛膜层制备及性能

发布时间：2018-03-29 19:47

  本文选题：氮化钛　切入点：掺杂铬　出处：《机械设计与研究》2015年06期

【摘要】：燃料电池金属极板迫切需要提高导电性和耐腐蚀性。本文运用非平衡磁控溅射离子镀(CFUBMSIP)工艺对316L不锈钢双极板进行表面改性。以氮化钛为基础膜系,掺入铬元素制备钛铬氮膜;通过SEM、XRD和XPS等分析方法揭示铬元素掺杂对氮化钛物相和成分影响规律;最后对铬钛氮膜导电性和耐腐蚀性能开展实验研究。研究表明,当钛铬比例为3:1时所得钛铬氮膜具有最优性能。
[Abstract]:In this paper, the surface modification of 316L stainless steel bipolar plate is carried out by using unbalanced magnetron sputtering ion plating (CFU BMS IP) process. Titanium chromium nitrogen film is prepared by adding chromium element into titanium nitride film system. The effect of chromium doping on the phase and composition of titanium nitride was revealed by means of XPS and XPS. Finally, the electrical conductivity and corrosion resistance of chromium titanium nitrogen film were studied experimentally. When the ratio of titanium to chromium is 3:1, the titanium chromium nitrogen film has the best performance.
【作者单位】： 上海交通大学上海市复杂薄板结构数字化制造重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51305262)
【分类号】：TG174.4;TM911.4

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本文编号：1682603