非晶硅锗薄膜与太阳能电池研究

发布时间：2018-04-29 05:07

  本文选题：非晶硅锗 + 光学带隙　； 参考：《人工晶体学报》2014年04期

【摘要】：采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在1.1 m×1.3 m的大面积玻璃衬底上制备非晶硅锗(aSiGe)薄膜和太阳能电池。系统研究了锗烷流量比(RGe)、氢气流量比(RH)、沉积功率和压强对a-SiGe薄膜光学带隙以及沉积速率的影响;分析了具有不同RGe的本征层对a-SiGe单结电池的影响;通过调节沉积参数制备出具有合适本征层带隙的高质量a-SiGe单结电池,实现在800 nm波长处的量子效率达到18.9%,同时填充因子(FF)也达到0.62。
[Abstract]:Amorphous silicon germanium germanium thin films and solar cells were prepared on a 1.1m 脳 1.3 m glass substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique. The effects of the flow ratio of germanium and alkane on the optical band gap and the deposition rate of a-SiGe thin films were systematically studied, and the effects of different intrinsic layers with different RGe on the a-SiGe single junction cells were studied systematically, and the effects of deposition power and pressure on the optical band gap and deposition rate of a-SiGe thin films were also studied. A high quality a-SiGe single junction cell with proper intrinsic band gap was prepared by adjusting deposition parameters. The quantum efficiency at 800 nm and the filling factor were 18. 9 and 0. 62 respectively.
【作者单位】： 浙江正泰太阳能科技有限公司;浙江大学硅材料国家重点实验室;
【基金】：国家国际合作项目(2010DFB63080) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2012AA052401)
【分类号】：TB383.2;TM914.4

【参考文献】

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【共引文献】

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2 金鑫;李伟;蒋亚东;廖乃镘;陈宇翔;陈德鹅;;C元素对N型a-Si∶H薄膜微结构及电学特性的影响[J];半导体光电;2009年05期

3 徐玮;于军;王晓晶;袁俊明;雷青松;;磁控溅射中工艺参数对ZnO:Al薄膜性能的影响[J];半导体光电;2010年02期

4 徐玮;于军;王晓晶;袁俊明;雷青松;;衬底温度对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响[J];半导体技术;2009年07期

5 王因生,盛文伟,张晓明,王晓雯;低电压高效率非晶硅发射极异质结UHF功率晶体管[J];半导体学报;1991年01期

6 史志强,刘克源,王学恩,刘兴胜,杨子强;掺氧非晶硅的正电子寿命研究[J];半导体学报;1997年11期

7 葛长军,靳在渊,成建波;640×480 TFT-AMLCD有源层的制备[J];半导体学报;1999年03期

8 殷生毅,陈光华,吴越颖,王青,刘毅,张文理,宋雪梅,邓金祥;一种新型磁场MWECR-CVD和氢化非晶硅薄膜制备[J];半导体学报;2004年05期

9 鲍海飞,叶水驰,兰慕杰,袁保红,何代义,周士仁,王骐;Sb/Se薄膜的晶化特性研究[J];半导体学报;1998年05期

10 王善慈;多晶硅敏感技术(连载二)[J];传感器技术;1994年02期

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