高度梯度微纳结构的自动化电镀制备方法

发布时间：2021-01-30 15:47

　　纳米生物医学需要制备多种微纳米结构,为解决高度梯度微纳结构制备的问题,采用可控垂直拉升电镀的方法,在导电基底ITO玻璃表面制备微纳米通道。以带有微纳米结构的导电基底材料作为掩膜板,通过调节电镀过程中基底垂直拉升的速度,以控制电镀掩膜板表面的电镀时间,来制备具有高度梯度的微纳米结构。根据这一方法不断优化实验装置,设计开发出高度梯度微纳米结构制备自动化平台。该平台集成了常规电镀方法和不同高度梯度结构电镀方法中的各种功能模块,系统集成度高,实验条件控制精确稳定,使得高度梯度微纳结构的制备简单化、高效化。 

【文章来源】：电镀与精饰. 2020,42(07)北大核心

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

掩膜板结构

匀速升降机构由一个步进电机401带动一副精密的滚珠丝杠副403转动，滚珠丝杠副上的丝杠螺母与两端的圆柱导轨501连接，只能轴向移动，所以固定在丝杠螺母上的连接杆可以上下平移，两个铂电极夹平行固定在与丝杠螺母连接的连接杆601上，电镀材料801与被电镀样品901被电极夹701固定住，这样，电镀材料与被电镀样品一起被匀速提升。因为被电镀样品上下部分接触电镀液的时间差异，被电镀样品的表面会形成具有不同高度的电镀层。水浴控制模块主要是控制水浴锅中电镀液的温度，一般根据电镀材料不同选定一个最佳电镀温度。恒定电流输出模块用于给电镀材料提供一个恒定的电流值。被电镀样品与电镀材料固定在铂电极的电极夹上，一对电极夹平行固定于与丝杠螺母连接的连接杆上，这样，电镀材料与被电镀样品可以保持平行，由于一对电极夹之间的距离是可以调节的，所以被电镀样品与电镀材料之间的距离平行可调。图3为电极安装和调节模块，电极固定板601上面开有一个距离调节槽602，使得铂电极杆701上的橡胶卡圈703能够轴向固定并在槽内移动，电镀材料801与被电镀样品901上的导电部分被铂电极夹704通过紧固螺栓706夹紧，这样就可以调节电镀材料与被电镀样品之间的距离，达到最佳的电镀效果。

图3为电极安装和调节模块，电极固定板601上面开有一个距离调节槽602，使得铂电极杆701上的橡胶卡圈703能够轴向固定并在槽内移动，电镀材料801与被电镀样品901上的导电部分被铂电极夹704通过紧固螺栓706夹紧，这样就可以调节电镀材料与被电镀样品之间的距离，达到最佳的电镀效果。2 实验结果与讨论


本文编号：3009166