氧化物/金属/氧化物叠层透明导电薄膜研究

发布时间：2022-01-06 20:12

　　透明导电氧化物薄膜（TCO）因其具有金属般的导电性和玻璃般的高透光性广泛应用于平板显示器、太阳能电池等领域中。综合透明导电氧化物薄膜的发展现状来看,铟锡氧化物（ITO）是目前应用最为广泛,综合性能最好的。但是金属铟是稀缺资源,所以会导致ITO成本高昂。因此,本论文重点讨论基于Nb2O5的多层透明导电薄膜来取代ITO。本文主要采用磁控溅射的方法,在室温下制备Nb2O5/Ag/Nb2O5、Nb2O5/Ag/Zn O和Nb2O5-Zn O/Ag/Nb2O5-Zn O三种多层的氧化物薄膜,主要从以下几个方面进行研究:（1）用射频（RF）磁控溅射法制备上下层的金属氧化物薄膜,并分析其厚度对整个多层电极性能的影响。（2）用直流（DC）磁控溅射法制备中间金属层Ag,并分析讨论Ag膜的厚度和Ag膜的晶粒尺寸对整个多层电极的影响。（3）用射频（RF）磁控溅射法制备Nb2O5和Zn O混合薄膜,分析其性质,并制备成多层电极,讨论其光电性能。第三章中,用射频磁控溅射制备上下层的Nb2O5,直流磁控溅射制备Ag层,从而在玻璃基底上制备出Nb2O5/Ag/Nb2O5三明治结构的透明导电薄膜。采用扫描电子显微镜（... 

【文章来源】：南京邮电大学江苏省

【文章页数】：69 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

透明导电薄膜的应用

学位硕士研究生学位论文 效改善氧化物薄膜性质的有效手段，最常见的就是金属元素 共掺 ZnO[18]等。与掺杂一种元素相比，多种元素共掺能有效电性。第二个方式是多层结构的薄膜，人们为了薄膜可以获个薄膜的电阻，发现形如“氧化物/金属层/氧化物”的叠层透TiO2/Ag/TiO2，ZnO/Cu/ZnO 等[19~21]结构的多层薄膜可以有效层的金属氧化物和中间的金属层来获得高品质的透明导电薄据不同的氧化物材料，可以改变各个膜层的厚度，通过调节在可见光范围内有较高的透射率。研究发现，叠层透明导电电性，而且制备条件也很简单，在室温即可，同时还具备生性等优点[22]。

图 1.3 体心立方铁锰矿结构图六方纤锌矿结构，如图 1.4 所示。ZnO 同时具备光当 ZnO 薄膜中存在天然的氧空位和 Zn 原子间隙，以通过在 ZnO 薄膜中进行掺杂，如 Al 等原子，能就是 AZO 薄膜（Al 掺 ZnO）。另一方面，ZnO 薄膜性较高，是最有前途的取代 ITO 薄膜的透明导电氧

【参考文献】：
期刊论文
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硕士论文
[1]TiO2薄膜的制备及厚度对其光学性质的影响[D]. 徐子杰.复旦大学 2013
[2]电化学沉积法制备ZnO纳米材料及其光催化性质研究[D]. 李雪.长春理工大学 2010



本文编号：3573093