基于音圈电机的主动隔振平台设计

发布时间：2022-01-13 00:31

　　由于加工和测量技术的不断提高,其对于仪器设备精度和稳定性的要求愈加严格。而限制这些仪器设备的精度和稳定性的最大因素则是来自环境的振动,尤其是其中的低频振动。针对这样的问题,论文中提出了一种基于音圈电机的主被动复合隔振系统。该隔振系统可以应用在超精密加工、测量领域以发挥仪器设备应有的优良性能。本文首先结合面电流法和镜像法推导永磁体气隙磁场的分布,建立了空气间隙当中的磁感应强度的解析计算公式。通过对算例Halbach阵列音圈电机的解析计算与ANSOFT的仿真数值对比验证了所推导公式的正确性。然后基于解析公式对音圈电机的磁轭厚度、气隙厚度、永磁体宽度三个尺寸参数进行设计,获得了合适的尺寸参数。改进设计后的音圈电机磁场分布和ANSOFT仿真结果比较,磁感应强度在整个计算区域内的误差都小于5%,力常数误差只有6.2%,验证了改进设计结果的正确性。然后本文通过对单自由度的被动隔振和主动隔振原理的分析,确定主动隔振和被动隔振的各自特点。分析主动控制选择不同反馈量所产生的隔振特性。在以上分析之上,设计了单一自由度基于音圈电机的主动隔振系统,并且通过仿真使得该隔振系统的性能得到验证。最后在单自由度隔振平... 

【文章来源】：上海交通大学上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：146 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

Tokkyokiki公司产品

图 1-7 Tokkyokiki 公司产品隔振效果图olation performance of product of Tokkyoki动隔振产品则是以 TMC 公司的产品的主动隔振产品，并不是之前所提的

图 1-8 TMC 主动隔振产品Fig. 1-8 Product of TMC Company动隔振致动器的方式是国内外厂商最常此类产品通常音圈电机与被动隔振器并簧等。图 1-9（a）是 Newport 公司的产

【参考文献】：
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本文编号：3585741