微型薄膜电阻的制备及研究

发布时间：2017-08-20 23:23

  本文关键词：微型薄膜电阻的制备及研究

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【摘要】：将具有优异特性的碳纳米管(CNTS)与负性感光胶(SU-8 2002)混合得到复合材料,将不同比例的碳纳米管通过超声工艺分散到SU-8 2002感光胶中,通过UV-LIGA加工工艺,热压处理后实现了微型电阻的快速制备。对复合薄膜电阻的性能进行测试,测试结果表明复合薄膜电阻率随着碳纳米管比例的增加而减小,当碳纳米管的比例为12%时,电阻率减小到0.06Ω?m,复合材料达到逾渗阈值,频率小于1.2 GHz时,电阻值的变化范围小于5%,为快速制备微型电阻提供了新的方法。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;
【关键词】： 复合材料 微型电阻 热压 电阻率
【基金】：国家自然基金项目(61401405);国家自然基金项目(51475438) 山西省基础研究项目(2014011021-4)
【分类号】：TM54
【正文快照】： 日本科学家20多年前在制备碳纤维的实验过程中首次发现了碳纳米管(Carbon Nanotube)[1],碳纳米管不仅具有高的电导率和大的长径比[2],同时还具有高导热性、高机械强度、低质量密度以及高拉伸模量等特点[3-4]。由于碳纳米管的尺寸比较小,只有均匀分散于高分子基体材料中其优良

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 李春香;陈大竞;陈玮;陈裕泉;潘敏;;氨气检测的聚苯胺碳纳米管复合敏感膜的研究与应用[J];传感技术学报;2012年03期

2 沈匿;林祖伦;祁康成;杨隆杰;叶宗标;王祝娇;;磁控溅射ZnO基TFT的研究[J];电子器件;2011年06期

【共引文献】

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2 蒋娟;薛严冰;于婧怡;;聚苯胺及其氧化锡复合材料的气敏特性研究[J];传感技术学报;2013年12期

3 张嘉琪;胡馨升;胡发志;齐高璨;袁志好;;ZnO纳米棒修饰的QCM气体传感器检测NH_3研究[J];传感器与微系统;2014年04期

4 海振银;高立波;李俊漾;张强;刘俊;薛晨阳;;柔性复合压电薄膜的制备及其电导率研究[J];传感技术学报;2014年07期

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中国硕士学位论文全文数据库 前2条

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【二级参考文献】

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【相似文献】

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7 ;薄膜电阻，

本文编号：709509