阵列型紫外LED匀光照明系统设计

发布时间：2017-09-22 14:21

  本文关键词：阵列型紫外LED匀光照明系统设计

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【摘要】：为实现曝光系统均匀照明的目标,基于非成像光学,提出了一种阵列型模组的匀光照明系统优化设计方法。该方法首先通过对单模组的光学设计,实现半发散角度和阵列间距的初步计算,然后通过Trace Pro软件的Scheme宏语言和优化引擎相结合,实现对模组阵列间距的进一步优化,从而实现对整个光学系统的均匀照明设计。光源采用日亚紫外LED STS-DA1-2394E,阵列模组个数为5,阵列纵向间距为28 mm,横向间距为24 mm。该光学系统通过Trace Pro软件模拟仿真和实验结果表明:在距光源300 mm的距离处,可实现目标面积上的均匀照明,其非均匀性均小于5%,准直角度约为4°。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电技术研发中心;中国科学院大学;
【关键词】： 光学设计 紫外曝光 匀光照明 阵列
【基金】：国家863计划(2015AA030102,2013AA03A116) 中科院璀璨行动计划(KZCC-EW-102)
【分类号】：TM923.34
【正文快照】： 1引言随着高科技电子产品的应用越来越广泛,人们对其性能的要求亦越来越高,而作为其核心部件的印刷线路板(PCB)也愈发受到关注。紫外曝光机主要应用于PCB的线路板制造、半导体生产及高精密线路曝光。传统的紫外曝光光源通常选取的是高压球形汞灯[1-3],其缺点为寿命短、体积大,

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 丁毅;顾培夫;;实现均匀照明的自由曲面反射器[J];光学学报;2007年03期

2 荆雷;刘华;赵会富;卢振武;续志军;韩雪冰;李也凡;;紧凑型高亮度发光二极管准直镜设计[J];光学学报;2011年12期

3 刘鹏飞;杨波;陆侃;;紫外曝光机均匀照明系统的设计与研究[J];光学仪器;2012年02期

4 郭立萍;黄惠杰;王向朝;;积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用[J];光子学报;2006年07期

5 辛迪;刘华;卢振武;吴宏圣;;可变视场角LED照明光学系统设计[J];光学学报;2013年05期

6 李梦远;孙伽略;张大伟;李柏承;;基于自由曲面透镜结构的紫外发光二极管固化系统光学设计[J];光学学报;2014年12期

7 钱可元;胡晓佳;;同时实现路面照度与亮度均匀性的LED光源光学系统研究[J];光学学报;2015年02期

8 颜稳萍;郭震宁;林介本;甘汝婷;林木川;潘诗发;廖炫;;基于逆向优化设计的高能量利用率LED路灯透镜[J];光学学报;2015年04期

9 钱可元;;LED近场光学模型与直下式背光源透镜的设计优化[J];光学学报;2015年05期

10 姜念云,王永茹,侯德胜,林大键;紫光高均匀照明实验装置及结构设计[J];光电工程;1996年01期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 李凤有;激光直写光刻技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 黄智蒙;LD侧面泵浦全固态266nm紫外激光器研究[D];西北大学;2008年

2 沈兆国;LD泵浦532nm绿光及355nm紫外激光器研究[D];西北大学;2009年

3 李金超;紫外LED光纤光刻系统关键技术研究[D];重庆大学;2009年

4 王国贵;紫外LED光刻光源系统的研究与设计[D];南昌航空大学;2013年

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 江程;江磊;陈郁阳;刘木清;;自由曲面照明透镜的应用研究[J];复旦学报(自然科学版);2010年01期

2 金占雷;谭久彬;刘玉涛;王雷;张山;;极坐标激光直写径向漂移理论研究[J];光电工程;2008年07期

3 梁凤超;;凹球面网栅光刻控制算法零点误差分析[J];光电工程;2008年12期

4 王洪;张奇辉;张小凡;王海宏;;实现道路均匀照明的自由曲面反射器设计[J];光电工程;2009年12期

5 张海劲;王金玉;;基于940nm红外光主动照明的抗干扰成像系统[J];光电技术应用;2009年01期

6 朱小芳;李红波;薛永胜;祁永庆;;反射罩光学设计与均匀性仿真[J];光电技术应用;2010年06期

7 王洪;王海宏;张小凡;张奇辉;;旋转轴对称LED均匀照明系统设计方法[J];光电子.激光;2010年08期

8 朱焯炜;苏宙平;解希顺;;反射定律矢量形式在LED照明设计中的应用[J];物理与工程;2012年02期

9 冯晓国,方梁,孙连春;金属网栅结构参数设计与制作[J];光学精密工程;2005年01期

10 冯晓国;卢俊;徐峰林;孙连春;;同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析[J];光学精密工程;2006年02期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 T3，

本文编号：901301