基于模态力约束的平面电机振动抑制研究

发布时间：2017-09-23 09:17

  本文关键词：基于模态力约束的平面电机振动抑制研究

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【摘要】：随着轻量化设计的需求,磁悬浮平面电机结构质量与柔性之间矛盾凸显,使得低阶模态引起的振动将严重制约其纳米精度的生成及控制系统稳定性。目前,振动抑制研究中的控制算法较为复杂,难以有效应用于工程实际。针对此问题,该文提出基于模态力约束的振动抑制方法。该方法针对垂向电机推力分配策略,在受力方程的基础上,以模态力之和等于0作为约束,利用力分配特解使各垂向电机的模态贡献相互抵消,从物理本质层面解决柔性振动问题。针对平面电机第一阶模态,采用模态力约束方法后,辨识模型在该阶模态处表现出刚体特性,且垂向z的定位误差减小至5 nm,验证了该方法对振动抑制的有效性。
【作者单位】： 摩擦学国家重点实验室(清华大学);
【关键词】： 平面电机 振动抑制 模态力约束 电机力分配
【基金】：国家自然科学基金项目(51175296)~~
【分类号】：TM301.42
【正文快照】： 0引言由多个音圈电机驱动单一构件的磁悬浮平面电机,具有结构简单、无机械接触、响应速度快等优点,已成为精密定位和快速运动的载物平台,并广泛应用于IC制造装备中光刻机硅片台、PCB制板、生物检测、半导体检测等高端制造装备中[1-4]。2009年Philips Applied Technologies、AS

【共引文献】

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1 周赣;黄学良;;三自由度永磁同步平面电机的控制策略[J];电机与控制学报;2011年04期

2 朱q，

本文编号：904442