滤波正弦相位调制干涉测量技术误差分析

发布时间：2017-10-09 12:00

  本文关键词：滤波正弦相位调制干涉测量技术误差分析

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【摘要】：基于正弦相位调制干涉测量是当前国际前沿的高精度光学测量技术,在位移、形貌等测量中得到广泛应用。通常采用傅里叶变换进行频谱分析提取相位参数,测量中需要处理庞大的数据,测量仪器难以快速获得测量结果,严重限制了正弦相位调制干涉的使用范围。为了降低传统频谱分析处理信号的复杂性,采用了滤波技术处理相位信息。在数据处理时直接采用低通滤波器滤除高次谐波成分,通过误差分析可知运用滤波技术处理干涉信号,公式本身引起的误差非常小,最大仅为0.9%;当调制频率波动为0.01Hz时,位移误差最大为0.1nm,误差可以忽略不计。
【作者单位】： 六盘水师范学院物理与电子科学系;六盘水光机电工程中心;重庆师范大学物理与电子工程学院;
【关键词】： 测量 正弦相位调制 滤波 干涉 误差
【基金】：贵州省科技厅联合基金项目(No.黔科合LH字[2014]7456) 贵州省教育厅重点项目(No.2013174) 贵州省高校优秀科技创新人才支持计划项目(No.黔教合KY字[2013]146)
【分类号】：TN761
【正文快照】： 1986年,日本新泻大学的O.Sasaki提出了正弦相位调制概念[1],1990年进一步发展为电流调制半导体激光器测量微小位移的SPM干涉技术[2],该技术中干涉仪可选择LED或者气体激光器作为光源。半导体激光器的波长调谐十分方便,只需要加入一个电流正弦信号即可完成。正弦信号的加入在干

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本文编号：1000052