超短脉冲激光半导体材料退火

发布时间：2017-10-12 00:15

  本文关键词：超短脉冲激光半导体材料退火

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【摘要】：脉冲激光退火技术从1974年问世以来一直被认为是一种热处理方式。皮秒范围内的超短脉冲退火可以用热模型解释。飞秒或脉宽更短的超短脉冲激光可以直接通过电子激发来实现晶格结构的改变,在低于熔点的情况下完成退火。超短脉冲激光退火属于非热模型退火,是一种新型的退火方式。主要介绍了两种退火模型的基本原理,概括了超短脉冲激光退火发展的历史和现状,并分析了其未来的研究趋势。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 激光技术 飞秒激光 皮秒激光 相变 退火
【基金】：国家自然科学基金(11374316)
【分类号】：TN249;TN304
【正文快照】： 传统退火的一个最主要工艺参数是最高加热温度即退火温度,大部分合金退火温度的选择是基于该合金系的相图。根据零件不同的化学成分和退火工艺,退火可以细分为完全退火、不完全退火、扩散退火、重结晶退火、球化退火、去除应力退火以及稳定化退火等。传统的退火工艺是将材料正

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本文编号：1015576