热压印光刻胶的研究进展

发布时间：2017-10-11 23:32

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【摘要】：综述了热压印光刻胶的主要分类,重点介绍了热固性光刻胶和热塑性光刻胶的研究进展,并介绍了2种光刻胶的应用情况,最后指出热压印光刻胶今后的发展方向。
【作者单位】： 中国石油兰州石化公司研究院;浙江传媒学院电子信息学院;
【关键词】： 热压印 光刻胶 热固性 热塑性
【分类号】：TB383.2;TN305.7
【正文快照】： 光刻胶是通过紫外光等光照或辐射后,使其曝光(或非曝光)造成部分降解并溶解于特定显影液的耐蚀刻薄膜材料。光刻胶成品一般由成膜树脂、光敏剂、溶剂和助剂等组成,将其涂布在印刷线路板、半导体基片、绝缘体或其他基材的表面,经曝光、显影、蚀刻、扩散和离子注入等工艺加工后,

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