CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究

发布时间：2017-10-13 04:03

  本文关键词：CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究

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【摘要】：采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现,激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明显。随着激光脉宽的增加,微孔深度和出口直径均增加,但微孔锥度减小。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 激光技术 阵列锥形微孔 光纤激光 CVD金刚石薄膜 微细加工
【基金】：国家自然科学基金(51275096) 广东省自然科学基金(2015A030313491) 广东省科技计划(2013B010204025)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 金刚石除了拥有极高的硬度,还具有优异的物理、化学性能,如低摩擦系数、高纵波声速和极高的热传导率及透射率[1-3]。天然金刚石价格昂贵,很难广泛应用。关于化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜的研究已持续多年,CVD薄膜合成技术日益趋向成熟[4]。使用CVD法制备的金刚石薄膜的硬度、

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本文编号：1022680