利用表面微结构提高波长上转换红外探测器效率

发布时间：2017-10-22 16:05

  本文关键词：利用表面微结构提高波长上转换红外探测器效率

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【摘要】：波长上转换红外探测器具有实现大面阵焦平面的优势,但光提取效率是制约器件整体效率的关键因素之一.本文主要研究利用表面微结构来提高波长上转换红外探测器的效率.首先通过仿真计算研究了表面微结构参数对光提取效率的影响,然后基于优化设计的参数,采用聚苯乙烯纳米球掩膜刻蚀的方法制作了具有圆台型表面微结构的波长上转换红外探测器.测试结果表明,具有表面微结构的器件的光提取效率比无表面微结构的器件提高了130%.本文制作表面微结构的方法可以实现波长上转换红外探测器件整体效率的提高.
【作者单位】： 清华大学电子工程系清华信息科学与技术国家实验室;中国科学院物理研究所;
【关键词】： 波长上转换 表面微结构 纳米球 光提取效率
【基金】：国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB632804,2012CB315605) 国家自然科学基金(批准号:61176015,61210014,51002085,61321004,61307024,61176059) 国家高技术研究发展计划(批准号2015AA017101)资助的课题~~
【分类号】：TN215
【正文快照】： 暗电流的波长上转换红外探测.1引言由于制作红外探测器的半导体材料与空气之间的折射率差造成的全反射效应限制了器件表面红外探测器在气象、环境、医疗、安防、军事等的光提取效率,因此严重制约了波长上转换红外探方面都有广泛的应用.目前较为成熟的红外探测测器的整体效率.

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本文编号：1079060