基于X射线相衬成像技术的光栅品质无损检测（英文）

发布时间：2017-10-25 06:18

  本文关键词：基于X射线相衬成像技术的光栅品质无损检测（英文）

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【摘要】：提出了一种基于X射线光栅像衬成像技术的光栅品质无损检测方法.我们发现利用传统的吸收信号很容易检测到光栅电镀缺陷,而由非均匀紫外曝光导致的光栅缺陷则可以通过相衬信号进行检测.实验结果证明,在一种利用实验室光源同时产生吸收信号和相位信号的大视场实验平台上,X射线相位衬成像技术可以很好地运用到光栅缺陷的快速检测以及其他类似的电刻产品的品质检测上.
【作者单位】： 中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
【关键词】： X射线相衬成像 无损检测 光栅品质 工业运用
【基金】：Supported by the Major State Basic Research Development Program(2012CB825800) the Science Fund for Creative Research Groups(11321503) the Knowledge Innovation Program of the Chinese Academy of Sciences(KJCX2-YWN42) the National Natural Science Foundation of China(11179004,10979055,11205189,and 11205157) the Fundamental Research Funds for the Central Universities(WK2310000021)
【分类号】：O434.19;TN25
【正文快照】： ultraviolet　exposure　phenomenon　of　the0　Introductionphotoetching　machine,and　the　defects　inX-ray　phase-contrast　imaging,which　useselectroplating　process.phase　shift　as　the　imaging　signal,can　provide1　Materials　and　methodsremarkably

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本文编号：1092435