基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜

发布时间：2017-10-27 16:10

  本文关键词：基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜

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【摘要】：针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度和消光比。实验结果表明,该反射腔在波长1549nm处反射率可达90%,品质因素Q值为3×104,自由光谱范围(FSR)为9.6nm。通过对微环谐振腔进行热光调制,在0~40.5mW功率范围内实现了在FSR内的波长可调。
【作者单位】： 浙江大学信息与电子工程学院;
【关键词】： 光学器件 反射腔 热调特性 微环谐振腔
【基金】：国家973计划(2013CB632105) 国家自然科学基金(61177055,61307074) 浙江省杰出青年基金(LR15F050002)
【分类号】：TN256
【正文快照】： 近年来,随着微纳技术的迅速发展,绝缘硅微纳光子器件及其集成成为研究者们关注的焦点[1-2]。基于绝缘衬底上硅(SOI)材料的硅波导非常适用于高密度光子集成,且制备工艺和现有的微电子互补金属氧化物半导体(CMOS)标准工艺兼容性高,成为未来光子集成芯片的首选技术。由于硅和二氧

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本文编号：1104214