溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响

发布时间：2017-11-06 20:14

  本文关键词：溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响

  更多相关文章： 溅射气压 铟锡锌氧化物薄膜晶体管 磁控溅射 光学带隙

【摘要】：利用射频磁控溅射技术,在不同溅射气压下制备了铟锡锌氧化物薄膜晶体管(ITZO TFT),分析了ITZO TFT电学性能随气压的变化规律。研究结果表明:非晶ITZO TFT的工作模式均为耗尽型;随着气压的增大,亚阈值摆幅及阈值电压先减小后增大、场效应迁移率逐渐减小,这是由载流子浓度和界面缺陷密度两方面因素共同决定的。溅射气压为0.4 Pa时,ITZO TFT综合性能最好,场效应迁移率高达24.32 cm~2/V·s,亚阈值摆幅为1.10 V/decade,电流开关比达到10~6。此外,ITZO有源层在可见光范围内的平均透过率超过80%,光学带隙值在3.2~3.4 eV之间,随气压的升高先减小后增大。
【作者单位】： 山东大学空间科学与物理学院;
【基金】：山东大学(威海)研究生科研创新基金项目(yjs13029) 山东省科技攻关课题(2014GGX102022)
【分类号】：TN321.5
【正文快照】： 薄膜晶体管(TFT)作为显示器件的核心部件, 在液晶显示、透明显示及有源矩阵发光二极管等方面具有广阔的应用前景⑴。传统的非晶硅TFT和多晶硅TFT迁移率较低、均匀性差,已不能满足液晶显示器对大尺寸屏幕显示和高对比度画质的需求[2],新型金属氧化物TFT的电学性能优良,其迁移率

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李青会,干福熹;可用于光存储的氧化物、次氧化物薄膜材料的研究及发展[J];光学技术;2002年01期

2 李光;郑艳彬;王文龙;姜志刚;;非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用[J];硅酸盐通报;2012年01期

3 吕惠宾,杨国桢,陈凡,赵彤,周岳亮,陈正豪;激光分子束外延氧化物薄膜机理研究[J];中国科学(A辑);2000年10期

4 邱柳卿;;美国专利文摘[J];真空电子技术;1990年01期

5 黄宁康;双离子束技术沉积锆氧化物薄膜及其背散射分析[J];原子能科学技术;1995年01期

6 孙建平,惠春,徐爱兰,刘宏伟;紫外光照下金属氧化物薄膜气敏特性研究进展[J];电子元件与材料;2005年07期

7 安继芸;;掺杂氧化物源向硅中的高浓度砷扩散[J];半导体情报;1973年10期

8 申功烈;过渡金属氧化物薄膜的离子敏变色效应[J];传感技术学报;1995年03期

9 戴国瑞,管玉国,焦伯恒,南金,许秀来,韩征,朱勇;多层氧化物薄膜气体敏感特性的研究[J];云南大学学报(自然科学版);1997年02期

10 邵景珍;董伟伟;陶汝华;邓赞红;方晓东;;柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用[J];液晶与显示;2009年05期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 吴良专;余愿;只金芳;;柔性过渡金属氧化物薄膜的化学镀[A];中国化学会第29届学术年会摘要集——第37分会：能源纳米科学与技术[C];2014年

2 刘卫国;张伟;周顺;高爱华;;复合氧化物薄膜的金属有机物化学相沉积技术[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年

3 黄宁康;汪德志;杨斌;雷家荣;;纳米锆氧化物薄膜的制备[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集（下卷）[C];2001年

4 杨国桢;吕惠宾;周岳亮;陈正豪;崔大复;李林;;激光分子束外延制备氧化物薄膜研究[A];第三届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];1997年

5 张宏斌;祝要民;裴世轻;李董轩;赵胜利;;锡基氧化物薄膜的制备及结构表征[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（4）[C];2007年

6 潘梦霄;曹兴忠;孙建忠;王宝义;马创新;周春兰;魏龙;李养贤;;钒的氧化物薄膜微观结构的研究[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年

7 刘俊明;;复杂多元氧化物薄膜材料的脉冲激光沉积[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年

8 赵昆;黄延红;封家峰;吕惠宾;;钙钛矿氧化物薄膜的超快光电响应[A];2005年中国固体科学与新材料学术研讨会专辑[C];2005年

9 张群;;新型氧化物薄膜晶体管的研究进展[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年

10 朱超;;几种激光沉积金属氧化物薄膜的抗近红外性能的比较[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 浦海峰;新型氧化物薄膜晶体管材料及工艺研究[D];复旦大学;2014年

2 于欣格;可用于柔性光电子器件的薄膜晶体管研究[D];电子科技大学;2015年

3 李秀萍;锌—铈—钛复合氧化物制备及光催化应用研究[D];东北大学;2014年

4 张国勇;强关联氧化物薄膜光（热）感生热电势效应及探测器应用[D];中国科学技术大学;2006年

5 彭蔚蔚;几种功能氧化物薄膜结构的同步辐射红外与太赫兹光谱研究[D];武汉理工大学;2012年

6 谭娜;Er/Yb共掺氧化物薄膜的光致荧光特性、结构特征及相关优化理论分析[D];大连理工大学;2006年

7 熊飞;钙钛矿型氧化物薄膜的激光感生热电电压效应及光探测器应用[D];昆明理工大学;2008年

8 王晓祺;基于氧化物薄膜的光电器件及电阻转变行为研究[D];上海大学;2012年

9 唐金龙;ABO_3型氧化物薄膜表面结构与界面应力效应的第一原理研究[D];电子科技大学;2008年

10 杜娟;P型透明导电氧化物薄膜的研究[D];浙江大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 童杨;非晶铟锡锌氧化物薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2015年

2 刘文龙;铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备和性能研究[D];电子科技大学;2015年

3 张磊;新型铜氧化物薄膜异质结太阳能电池的模拟研究[D];集美大学;2015年

4 叶正平;镍铝复合氧化物薄膜的制备及其电吸附性能研究[D];北京化工大学;2012年

5 霍丽娟;直流反应磁控溅射法制备p型透明导电锡锑氧化物薄膜[D];浙江大学;2006年

6 冀晓静;钛硅复合氧化物光催化剂的制备及光催化性能研究[D];中国石油大学;2008年

7 王莹莹;低电位下钛表面阳极氧化物薄膜的制备及其结构研究[D];华南理工大学;2011年

8 田媛媛;层状化合物及其复合金属氧化物薄膜的制备与性能研究[D];北京化工大学;2007年

9 赵静;铜及其氧化物薄膜的磁控溅射法制备及对AP的催化性能研究[D];南京理工大学;2012年

10 郭存亚;铜氧化物薄膜制备与性能研究[D];哈尔滨工业大学;2014年

，

本文编号：1149208