微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告

发布时间：2017-11-10 05:05

  本文关键词：微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告

  更多相关文章： 离子束 绝缘体上硅 光波导

【摘要】：以粒子束技术为基础的材料制造技术,在材料和半导体器件的发展中起着举足轻重的作用,芯片性能的提高将更多地依赖于粒子束与微纳物质作用及其精确调控技术。目前,离子注入技术最成功的应用领域是半导体工业,其被广泛应用于半导体源\漏、阱掺杂工艺中;另一方面,在微电子、光电子领域的前沿-SOI技术领域,离子注入技术同样获得广泛应用,例如:采用氧离子注入合成SOI材料并利用缺陷离子实现对其绝缘埋层厚度的精确调控,氦-氧多种类离子注入合成SOI纳米结构等。此外,为了推动微电子技术沿摩尔定律继续发展,新型硅基应变材料,如,绝缘体上应变硅和绝缘体上应变锗硅等,由于具有比Si高的多的载流子迁移率以及同传统的Si器件工艺兼容,因而得到研究领域和产业界的高度重视。其材料制备关注的焦点在于利用离子注入引入纳米孔层对异质外延应变材料应力释放,实现应力转移,最终获得以上新型硅基应变材料。总之,对离子注入合成纳米尺度材料的机理进行研究,探索半导体材料离子注入原子的沉淀分解、扩散与成核长大等物理效应与演变机制,以及粒子束对材料应变的形成、应变释放的作用对新型半导体材料合成具有重要的指导意义。高能离子束与光电绝缘体功能材料的相互作用是一个具有很强应用前景的课题。具有一定能量的离子束,轰击光电功能材料表面,辐照离子通过损伤、缺陷机制,诱导特定区域的折射率发生变化,在表面形成光波导结构。根据注入离子的能量、方式的不同,可以分为离子注入、快重离子辐照、聚焦质子束。我们综合利用上述手段在多种晶体材料中晶体上实现波导结构,研究表明离子辐照技术作为一种非平衡的物理方法,注入离子的数量小,而且多数离子都位于注入射程的末端,在波导层中几乎没有掺杂效应,能够保持晶体的原有组分和结构,通过适当的热退火处理,波导层中的色心和点缺陷可以被消除,使得波导层可以保持原有的光学性能,是一种"晶体波导"。通过系统的研究,在多种晶体上制备出性能稳定、导模质量好的光波导,实现波导中光学倍频和激光输出,并通过理论分析对其辐照机理进行了探讨。这对于无源/有源微纳光子器件的研究奠定了实验和理论基础。
【作者单位】： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;山东大学;
【分类号】：TN303;TN304
【正文快照】： 阅读全文链接(需实名注册):http://w ww.nstrs.cn/xiangxi BG.aspx?id=49721flag=1微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告@张苗$中国科学院上海微系统与信息技术研究所 @王雪林$山东大学 @魏星$中国科学院上海微系统与信息技术研究所以粒子束技术为基础的材料

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 赵桂云;;光波导材料与制备[J];中国光学与应用光学文摘;2001年06期

2 ;光波导材料与制备[J];中国光学与应用光学文摘;2002年01期

3 ;光波导材料与制备[J];中国光学与应用光学文摘;2002年03期

4 ;光波导参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;2004年01期

5 ;光波导材料与制备[J];中国光学与应用光学文摘;2008年02期

6 ;光波导材料与制备[J];中国光学与应用光学文摘;2008年03期

7 吴彝尊;光波导耦合等效电流理论[J];通信学报;1982年03期

8 孙友广;;光波导首次应用于煤炭工业[J];激光与光电子学进展;1985年06期

9 金恩培,盖云英;对运动光波导传播特性的研究[J];电子科学学刊;1988年03期

10 刘德森,程东;掩埋式梯折型玻璃光波导研究[J];高速摄影与光子学;1990年01期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 马长峰;肖金标;张明德;孙小菡;;三维脊形光波导光波特性半矢量分析[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议（OFCIO’2003）论文集[C];2003年

2 费旭;胡娟;崔占臣;;可交联含氟聚酯型聚合物光波导材料的合成[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集（下册）[C];2006年

3 徐建锋;;子域合成法在弯曲光波导中的应用[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

4 高伟男;高磊;田美强;孙杰;朱桂华;张大明;;一种加载条形结构的光波导的研究[A];全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议论文集[C];2007年

5 阿不都卡德尔·阿不都克尤木;麦麦提依明·马合木提;买买提·阿不都拉;买里克扎提·买合木提;阿布力孜·伊米提;;玻璃光波导元件检测氯仿蒸汽的研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年

6 姜振华;高鸿;姜伟;李艾泽;;耐高温有机光波导材料[A];中国化学会第26届学术年会应用化学分会场论文集[C];2008年

7 热娜古丽·阿不都热合曼;阿布力孜·伊米提;;甲基紫薄膜/玻璃光波导元件的气敏性研究[A];中国化学会第27届学术年会第09分会场摘要集[C];2010年

8 陈峰;;离子注入激光材料形成光波导结构的微荧光特性[A];2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2010年

9 谭杨;陈峰;马宏骥;;离子注入铌酸锂光波导的热光性质[A];2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2010年

10 肖金标;孙小菡;张明德;丁东;;三维脊形光波导光波传输特性分析[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议（OFCIO’2001）论文集[C];2001年

中国重要报纸全文数据库 前2条

1 记者 郑千里;集成光波导型电磁场传感器制成[N];科技日报;2001年

2 本报记者 李德辉 通讯员 马永军;创新因执着而美丽[N];联合日报;2008年

中国博士学位论文全文数据库 前6条

1 凡勇;基于纳米结构波导层的光学生物传感器[D];清华大学;2014年

2 张永玲;用于有机光波导放大器的稀土掺杂氟化物纳米晶研究[D];吉林大学;2016年

3 李家立;光波导光学相控阵技术研究[D];西安电子科技大学;2005年

4 杜婵;光波导表面等离子体共振传感方法研究[D];清华大学;2014年

5 赵立华;纳米尺度光波导及微结构若干性质研究[D];南开大学;2010年

6 邢华;溶胶-凝胶制备Sn-SiO_2光波导材料的基础研究[D];吉林大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 栾庆芳;载能离子束辐照碳化硅及无序晶体的导波光学性质[D];山东大学;2015年

2 张思越;集成光波导高压脉冲电场传感信号处理的研究[D];电子科技大学;2014年

3 李汝江;克尔非线性光波导与PT对称光波导的全光操控[D];山西大学;2014年

4 李万军;集成光波导脉冲电场传感器直流漂移控制技术研究[D];电子科技大学;2014年

5 曾婉莹;光波导技术用于离子液体/水相界面传质机理的研究[D];东北大学;2013年

6 陈代尧;高速大功率单行载流子光波导探测器的设计与研究[D];电子科技大学;2014年

7 苏衍浩;光波导相控阵控制软件与光电测量系统设计[D];西安电子科技大学;2013年

8 刘欢;光波导光学相控阵扫描性能分析与优化[D];西安电子科技大学;2014年

9 李军;光波导无源环形谐振器的损耗分析与仿真研究[D];兰州交通大学;2014年

10 朱玉;基于金纳米棒修饰的聚二乙炔微米管光波导高效灵敏地检测miRNA-21[D];中国科学技术大学;2016年

，

本文编号：1165168