基于可重入加工组合设备的建模与调度研究

发布时间：2017-12-02 18:09

本文关键词：基于可重入加工组合设备的建模与调度研究

【摘要】：晶圆加工中越来越广泛地采用可重构的自动化组合设备,其单晶圆加工技术提高了晶圆制造的生产效率和加工质量。介绍了组合设备的结构特征及其加工过程运行的约束条件,由于晶圆重入加工需求的增加,组合设备的调度变得更加复杂。回顾了组合设备可重入加工过程的建模、性能分析及其调度等研究工作,分析了重入加工的Petri网建模,调度和控制方法的优劣性,并通过例子阐述了仿真调度的可行性。提出了组合设备重入加工运行控制的研究方法及未来的研究方向。
【作者单位】：江西理工大学机电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(71361014)
【分类号】：TN305
【正文快照】： 引言1晶圆直径的增大促使晶圆逐渐迈入到“450mm直径”的时代,传统的批量加工技术难以满足蚀刻、化学气相沉积和快速高温加工等加工工艺的要求。因此,大直径的晶圆广泛地采用自动化组合设备(Cluster Tool)进行加工,其单晶圆加工技术有效地提高了晶圆的生产率和成品率[1]。组合

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