退火对熔石英表面损伤修复点损伤增长的影响

发布时间：2017-12-03 05:25

  本文关键词：退火对熔石英表面损伤修复点损伤增长的影响

  更多相关文章： 熔石英 损伤增长 裂纹扩展 退火

【摘要】：研究不同参数退火处理的熔石英表面损伤修复点再次损伤及损伤增长时的形貌和损伤增长率的差异,同时与未退火的基底及修复点的损伤增长行为对比.结果表明:未退火的修复点再次损伤后,损伤点周围的裂纹会在应力的作用下继续扩展,导致更加严重、尺寸更大的损伤点;当退火处理将修复点周围应力导致的光程差控制在25 nm左右时,虽损伤增长速率较快,但可有效抑制裂纹扩展.同时研究结果也表明只要退火过程能将修复点周围应力导致的光程差控制在10 nm以下,其损伤增长率与基底的损伤增长率没有明显差异,从而可以有效控制修复点的损伤增长速率.研究结果可为分析应力对修复点损伤增长的影响、指导退火参数的优化提供参考.
【作者单位】： 西南科技大学-中国工程物理研究院激光聚变研究中心极端条件物质特性联合实验室;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;电子科技大学物理电子学院;
【基金】：国家自然科学基金青年科学基金(批准号:61505170,61505171) 国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金(批准号:U1530109) 西南科技大学自然科学基金(批准号:13zx7120)资助的课题~~
【分类号】：TN249;O346.5
【正文快照】： 1引言熔石英光学元件是高功率固体激光装置,如美国的国家点火装置、法国的兆焦耳装置和中国的神光-III中的重要组成部分[1].目前先进的制造和抛光工艺(如磁流变抛光[2])以及后处理工艺(如氢氟酸刻蚀[3])在很大程度上提升了元件的抗激光损伤能力.但装置在运行过程中仍然会出现

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 苗心向;袁晓东;王海军;吕海兵;王成程;郑万国;;熔石英表面铜膜污染物诱导损伤实验研究[J];强激光与粒子束;2008年09期

2 尹伟;祖小涛;蒋晓东;袁晓东;吕海兵;王成程;郑万国;;经355nm激光预处理后熔石英的损伤增长[J];原子能科学技术;2009年09期

3 花金荣;蒋晓东;祖小涛;李莉;陈猛;袁晓东;郑万国;;熔石英亚表面横向划痕调制作用的3维模拟[J];强激光与粒子束;2010年07期

4 苗心向;袁晓东;程晓锋;贺少勃;郑万国;;表面污染物诱导熔石英损伤的热力学数值模拟[J];激光技术;2011年02期

5 章春来;王治国;向霞;刘春明;李莉;袁晓东;贺少勃;祖小涛;;熔石英后表面坑点型划痕对光场调制的近场模拟[J];物理学报;2012年11期

6 王积方,李华丽,唐汝明,查济璇,何寿安;熔石英的弹性模量和超声状态方程[J];物理学报;1982年10期

7 齐亚范,方敬忠;φ410mm轻型熔石英反射镜[J];光电工程;1999年01期

8 李仲伢,程雷,李成富;熔石英玻璃和白宝石晶体激光损伤的研究[J];中国激光;2002年10期

9 郭少锋,林文雄,陆启生,林宗志,邓少永;熔石英相位共轭镜无损工作状态分析[J];强激光与粒子束;2005年S1期

10 徐世珍;吕海兵;田东斌;蒋晓东;袁晓东;祖小涛;郑万国;;酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响[J];强激光与粒子束;2008年05期

中国重要会议论文全文数据库 前5条

1 段利华;;熔石英在3ω激光下输入输出面的阈值分析[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年

2 蒋晓东;;熔石英表面功能化处理技术研究进展[A];中国工程物理研究院科技年报（2010年版）[C];2011年

3 段利华;廖克俊;万步勇;陈宁;胡建平;张问辉;;化学处理对熔石英表面抗激光损伤阈值的影响[A];海峡两岸第二届工程材料研讨会论文集[C];2004年

4 江天;程湘爱;;DF激光辐照下熔石英的温度场与应力场[A];第九届全国物理力学学术会议论文集[C];2009年

5 周礼书;杨李茗;杨春林;;湿法化学刻蚀技术[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 尹伟;熔石英的真空损伤与损伤增长的研究[D];电子科技大学;2009年

2 苗心向;金属污染诱导熔石英表面损伤机理研究[D];中国工程物理研究院;2009年

3 陈庆红;机械性能对熔石英损伤影响研究[D];电子科技大学;2013年

4 王亚男;熔石英玻璃塑性域微铣削工艺基础及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

5 O@昊;熔石英表面污染物粘附机理及洁净度表征方法研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

6 田润妮;熔石英体内杂质对激光光场调制的研究[D];西南科技大学;2015年

7 时晓艳;熔石英元件离子束抛光物理规律与激光损伤特性研究[D];电子科技大学;2012年

8 黄晚晴;大口径熔石英元件表面激光损伤特性研究[D];中国工程物理研究院;2009年

9 刘志超;熔石英紫外激光初始损伤形态研究[D];中国工程物理研究院;2009年

10 冯峰;膜状污染物对激光致熔石英元件损伤影响的研究[D];电子科技大学;2012年

，

本文编号：1247607