猫眼回波探测1.06μm激光引发硅的损伤演化

发布时间：2017-12-22 19:49

  本文关键词：猫眼回波探测1.06μm激光引发硅的损伤演化　出处：《红外与激光工程》2016年12期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：利用猫眼回波的变化研究焦平面上硅在激光辐照下的损伤演化。随着激光辐照时间的增加,回波图像出现抖动,产生新的纹理,判定焦平面上硅受到损伤。损伤对应的回波图像面积不断扩大,损伤区内光斑结构逐渐变得复杂,且光斑面积不断减小,最终形成动态稳定的损伤回波图像。依据回波图像的变化分析硅的损伤形貌,依次出现表面氧化、小尺度形貌损伤、损伤面积扩大等现象。初步分析了回波图像纹理特征与焦平面上硅损伤形貌的对应关系,认为回波图像损伤区光斑的自相关性与角二阶矩随着损伤形貌粗糙度的增大而减小。
【作者单位】： 脉冲功率激光技术国家重点实验室(电子工程学院);
【基金】：脉冲功率激光技术国家重点实验室基金(SKL2014ZR06)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 0引言激光对物质的辐照效应与激光的工作参数密切相关,形成的表面损伤形貌也各不相同。目前对于激光损伤物质引起的微观形貌变化大多通过光学显微镜和电镜扫描等技术手段进行探测,以分析激光辐照下物质的损伤特性[1-3]。此外,在实验过程中往往需要获得尽可能多的信息,如利用激

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本文编号：1320804