飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究

发布时间：2018-01-01 09:15

  本文关键词：飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究　出处：《光学仪器》2016年05期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为了制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料,在SF6气体氛围中,用一定能量密度的飞秒脉冲激光照射单晶硅片表面。针对激光通量和激光峰值功率这两个参量分别进行实验,具体分析了15fs和130fs脉冲宽度的飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的形成,不同实验条件下制备出的硅微纳结构也有明显的差异。研究表明,在同一背景气体下,激光的峰值功率对硅表面微结构的形成起着决定性的作用。
[Abstract]:In order to prepare the black silicon material with quasi - regular ordered micron conical spike structure on the surface , the surface of single crystal silicon is irradiated by femtosecond pulse laser with certain energy density in SF6 gas atmosphere . For the laser flux and laser peak power , the formation of microstructure of silicon surface under different experimental conditions is analyzed . The results show that the peak power of laser plays a decisive role in the formation of silicon surface microstructure under the same background gas .

【作者单位】： 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室;上海理工大学光电信息与计算机工程学院;
【基金】：国家重大仪器专项(2011YQ150021、2012YQ15009205) 上海市教育委员会上海市教育发展基金会“晨光计划”(12CG54)
【分类号】：TN304.12;TN249
【正文快照】： 引言目前,激光技术的发展越来越迅速,采用激光技术对固体材料进行性质的改善和研究也越来越普遍。在特定气体SF6条件下,硅材料表面在飞秒激光脉冲的作用下会生成一种表面呈黑色的比较特别的微纳结构,能在表面产生这种微结构的硅材料称为黑硅[1]。与通常的硅材料相比,这种黑硅

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