飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究

发布时间：2018-01-04 14:45

  本文关键词：飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究　出处：《激光技术》2017年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌。结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20~×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道。此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值。
[Abstract]:In order to obtain the best parameters of the wet-engraved quartz glass microchannel on the back of femtosecond laser, the power of femtosecond laser is changed separately. The etching rate and the magnification of the micro objective lens were tested. The samples were observed and measured by hyperfield depth microscope, and the morphology of the microchannel was analyzed. The results showed that the power of femtosecond laser was 50 MW. When the etching rate is 0.010 mm / s ~ (20) 脳 microobjective lens focusing, the depth of 1466 渭 m can be obtained. Quartz glass microchannel with a aspect ratio of 32. This study has a certain application value for 3D structure Wiener fabrication technology.
【作者单位】： 深圳大学光电工程学院;深圳大学机电与控制工程学院;
【分类号】：TN249
【正文快照】： 引言飞秒激光作为20世纪末发展起来的一种超快光源,由于具有长脉冲激光所不具备的特殊特性,例如超短的脉冲持续时间、超高的峰值功率等性能,使得其在加工领域有着特殊的应用。当飞秒激光与物质相互作用时,能够快速将能量聚集在很小的区域,瞬间的高能聚集使得电子的吸收和运动

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本文编号：1378837