基于SAW器件的微间隙压力监测传感器

发布时间：2018-01-06 02:08

  本文关键词：基于SAW器件的微间隙压力监测传感器　出处：《传感技术学报》2017年05期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)器件能进行无源无线通信,为微间隙等特殊环境下物理量的测量提供了新的解决思路。研究设计了一种基于声表面波延迟线的接触应力传感器。围绕微间隙环境,研究了声表面波器件的结构类型,并确定压力监测的技术方案;根据设计原理,设计一种新型声表面波传感器,并利用有限元分析法对压电基片进行应力仿真;将设计出的传感器进行实验测试并提出温度补偿。通过对声表面波传感器设计的探究,验证了利用声表面波传感器实现微间隙压力监测的可行性。
[Abstract]:Surface acoustic wave (SAW(Surface Acoustic wave) devices can be used for passive wireless communication. It provides a new solution for the measurement of physical quantities in special environment such as microgap. A contact stress sensor based on saw delay line is designed. The structure type of saw device is studied and the technical scheme of pressure monitoring is determined. According to the design principle, a new saw sensor is designed, and the stress of piezoelectric substrate is simulated by finite element method. The designed sensor is tested experimentally and temperature compensation is put forward. The feasibility of using saw sensor to realize micro gap pressure monitoring is verified by exploring the design of saw sensor.
【作者单位】： 上海工程技术大学电子电气工程学院;东华大学信息科学与技术学院;
【基金】：上海工程技术大学研究生科研创新项目(E3-0903-16-01182) 16KY0212柔性阵列式声表面波微力传感器的研究项目 国家自然科学基金项目(61274078) 多尺度声表面波式指条面积加权的小波变换处理器及小波反变换处理器的研究项目 中国纺织工业联合会的“纺织之光”应用基础研究项目(J201608) 用声表面波器件实现纱线张力传感器的研究项目
【分类号】：TN65;TP212
【正文快照】： 接触压力的理论和试验研究一直是工程和力学的热门课题,对于处在两个金属或者非金属物体及若干局部弹性介质的微间隙(厚度在1 mm~5 mm)的物体来说,实时监测其表面压力是极其重要的。目前,应用于接触压力测量的传感器大致可分为压阻式、电容式、电感式、光学式等[1],然而它们需

【参考文献】

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【共引文献】

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