电子束退火法制备ZnO薄膜

发布时间：2018-01-06 13:22

  本文关键词：电子束退火法制备ZnO薄膜　出处：《材料导报》2017年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：利用溶胶-凝胶法制备出ZnO的凝胶前驱膜,用电子束退火取代传统炉子退火,对前驱膜进行后处理,退火时固定电子束加速电压为10kV,退火时间为5min,调节聚焦束流和电子束束流,使退火温度在600~900℃范围内变化。扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和压电力显微镜(PFM)的测试结果表明,运用电子束退火法可制备出晶粒尺寸小于30nm、沿(002)择优取向、具有压电效应的六方ZnO薄膜,且随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐变大,薄膜的结晶性和取向变好,压电效应越来越明显。
[Abstract]:The gel precursor film of ZnO was prepared by sol-gel method. Electron beam annealing was used to replace the conventional furnace annealing. After treatment, the fixed electron beam acceleration voltage was 10 kV. The annealing time is 5 min, and the annealing temperature varies from 600 鈩，

本文编号：1388049