双晶片压电驱动器的研究

发布时间：2018-01-10 21:06

  本文关键词：双晶片压电驱动器的研究　出处：《压电与声光》2017年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为实现较大的驱动力和速度,提出一种新型压电驱动器,研究了驱动器输出性能随压电泵工作腔数、频率的变化规律。制作驱动器,分别进行十腔串联压电泵/五腔压电泵并联、3~5个压电振子工作、50~400 Hz频率下的输出试验。结果表明,压电泵并联时驱动器的最佳输出功率较大;工作的振子数目不同,存在不同的最佳频率使驱动器的输出速度最大,相同的频率使输出推力最大;最佳频率时,驱动器的输出与工作的振子数目呈正比。在150V、380Hz时驱动器输出功率最大,此时输出速度和推力是10.72mm/s、57.7N。
[Abstract]:In order to achieve greater driving force and speed, a new type of piezoelectric actuator is proposed. The output performance of the actuator varies with the working cavity number and frequency of the piezoelectric pump. The output experiments of 10 cavities series piezoelectric pump / five cavity piezoelectric pump with 3 ~ 5 piezoelectric oscillators at the frequency of 50 ~ 400 Hz have been carried out respectively. The results show that the experiment results are as follows: 1. The optimal output power of the actuator is larger when the piezoelectric pump is parallel. The output speed of the actuator is maximized by different optimal frequencies and the output thrust is maximized by the same frequency. At the optimum frequency, the output of the driver is proportional to the number of vibrators in operation. The maximum output power of the driver is at 150 Vt 380Hz, and the output speed and thrust are 10.72 mm / s. 57.7N.
【作者单位】： 长春工程学院机电工程学院;浙江师范大学精密机械研究所;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51075371)
【分类号】：TN384
【正文快照】： 0引言压电驱动器具有位移分辨率高,定位精度高,体积小,无电磁干扰,响应快及易控制等优点,被广泛应用于光学半导体和机械加工制造等行业[1-5],但同时要求大位移和高驱动力的工作场合,现有压电驱动器受一定的限制。因此,有必要研制一种新型的压电驱动器,使其输出位移和驱动力满

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1406780