通过热应力分析改善AOTF键合层附着力

发布时间：2018-01-14 05:19

  本文关键词：通过热应力分析改善AOTF键合层附着力　出处：《压电与声光》2017年03期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 声光可调滤光器 声光晶体 真空键合 热应力 声阻抗匹配

【摘要】：针对声光可调滤光器(AOTF)压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性。当过渡层Au膜厚为200nm时,理论上键合层和声光晶体间的热应力减小到-0.613 MPa,能够保证膜层的附着强度。测试结果显示,添加过渡层后频率响应的3dB带宽增加,衍射效率提高了2%~4%。
[Abstract]:Based on the analysis of the problem of poor adhesion between the acoustooptic tunable filter (AOTF) piezoelectric transducer and the acousto-optic crystal bonding, the thermal stress distribution of each layer of AOTF bonding layer is calculated according to the thermal stress theory. The stress characteristics of the bonding layer are improved by increasing the transition layer. When the thickness of the transition layer au film is 200nm, the thermal stress between the bonding layer and the acoustooptic crystal is reduced to -0.613 MPa. The experimental results show that the 3dB bandwidth of the frequency response increases and the diffraction efficiency increases by 2 / 4 with the addition of the transition layer.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十六研究所;
【分类号】：TN65
【正文快照】： 0引言声光可调滤光器(AOTF)是基于反常布喇格衍射的声光相互作用原理制成的分光器件,由单轴双折射晶体(通常为TeO2)、键合在晶体一侧的压电换能器及作用于压电换能器的射频驱动信号源构成。通过射频驱动使固定在晶体表面的压电换能器产生超声波,耦合进入声光晶体使其调制。当

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 平均芬;乐孜纯;;声光可调谐滤波器(AOTF)之模分离器的研究及设计[J];现代电子技术;2012年10期

2 池永江;朱广信;王潇潇;马玲芳;乐孜纯;;声光可调谐滤波器(AOTF)的射频控制电路的实现[J];中国有线电视;2005年23期

3 陈肃超;刘波;吴晓玟;;基于不同介质材料的AOTF特性研究综述[J];光通信研究;2011年05期

4 李小霞,孙振东,万峰,赵玉春;基于AOTF的在线红外光谱测量系统[J];光电工程;2002年04期

5 孙振东,段乔峰,赵玉春,万峰,李小霞;采用AOTF技术的红外光谱仪的设计[J];光学技术;2004年05期

6 孙振东,段乔峰,李小霞,赵玉春;AOTF红外光谱测量系统及其设计分析[J];压电与声光;2004年02期

7 朱月红;齐海;贾丽萍;;有限元人工透射法对权重耦合AOTF的计算[J];河北师范大学学报;2006年01期

8 刘济帆;马艳华;张雷;舒嵘;;基于AOTF的新型成像光谱系统[J];红外与激光工程;2013年11期

9 毛谦敏;袁雷;余桂英;郑颖君;;基于AOTF技术红外单色光调谐控制系统的研究[J];大气与环境光学学报;2007年03期

10 孙振东,万峰,赵玉春,李小霞,范世福;采用AOTF技术的新型红外单色系统的研制[J];光学技术;2002年01期

相关会议论文 前6条

1 池永江;朱广信;王潇潇;马玲芳;乐孜纯;;声光可调谐滤波器(AOTF)的射频控制电路的实现[A];浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集[C];2005年

2 刘济帆;马艳华;张雷;舒嵘;;基于AOTF的新型成像光谱系统[A];第十届全国光电技术学术交流会论文集[C];2012年

3 袁雷;;基于AOTF技术红外单色光调谐控制系统的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集（A 光电系统总体技术专题）[C];2006年

4 何志平;舒嵘;王建宇;;声光可调滤光器(AOTF)特性分析及其在光谱探测中的应用研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

5 毕昆;骆清铭;曾绍群;;用于飞秒激光的AOTF[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

6 余桂英;姚帅;郭天太;金骥;;基于TracePro的AOTF中红外光谱仪的优化设计[A];第二届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会论文集[C];2008年

相关博士学位论文 前1条

1 徐睿;深空探测AOTF红外成像光谱仪系统定标技术研究[D];中国科学技术大学;2013年

相关硕士学位论文 前7条

1 黄峻峰;基于二氧化碲晶体的窄带声光滤波技术研究[D];福建师范大学;2015年

2 高强;基于非共线AOTF的显微超光谱成像及优化设计研究[D];福建师范大学;2016年

3 谭见瑶;基于声光调制（AOTF）光谱相机的研究及应用[D];长春理工大学;2013年

4 林伟;用于AOTF驱动的高速调频信号源的研制[D];中国农业大学;2005年

5 池晓金;声光可调谐滤波器的理论研究与实验制作[D];浙江工业大学;2008年

6 王顺权;声光可调谐滤波器的研究[D];天津大学;2004年

7 桑伟;声光可调谐滤波器的理论分析和实验研究[D];天津大学;2004年

，

本文编号：1422190