熔石英亚表面杂质对激光损伤概率的影响
本文选题:熔石英 切入点:杂质粒子 出处:《红外与激光工程》2017年04期 论文类型:期刊论文
【摘要】:基于Mie理论和热传导方程,结合ICP-OES对熔石英亚表面杂质粒子的主要成分测量,建立了计算吸收性杂质粒子诱导熔石英光学元件表面损伤概率的模型。通过该模型理论研究了不同种类的杂质粒子诱导损伤所需的临界能量密度随粒子尺寸的变化,以及不同尺寸分布的杂质粒子诱导熔石英表面的损伤概率。通过损伤实验测试获得了不同光斑尺寸的355 nm激光辐照作用下熔石英表面的损伤概率,与理论计算结果进行对比,在相同粒子分布参数下,分析了三种杂质粒子对损伤概率的贡献(CuAlCeO_2)。通过该模型能够分析光学基底或薄膜亚表面中不同潜在的杂质吸收性粒子对光学元件损伤概率的影响。
[Abstract]:Based on Mie theory and heat conduction equation, the main components of quartz subsurface impurity particles were measured with ICP-OES. A model for calculating the surface damage probability of fused quartz optical elements induced by absorbing impurity particles is established, and the critical energy density required by different impurity particles to induce damage is studied by using the model theory, and the variation of critical energy density with particle size is studied. And the damage probability of fused quartz surface induced by impurity particles with different size distribution. The damage probability of fused quartz surface induced by 355nm laser irradiation with different spot sizes was obtained by damage test, and the results were compared with the theoretical results. Under the same particle distribution parameters, the contribution of three kinds of impurity particles to the damage probability is analyzed. The model can be used to analyze the influence of different potential impurity absorbability particles on the damage probability of optical elements.
【作者单位】: 西南科技大学中国工程物理研究院激光聚变研究中心极端条件物质特性联合实验室;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金】:国家自然科学基金青年基金(61505170,61505171);国家自然科学基金联合基金(U1530109)
【分类号】:TN249
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,本文编号:1569061
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