193nm准分子激光器激光整形微透镜阵列压缩模塑成型工艺参数研究

发布时间：2018-03-11 11:37

  本文选题：nm准分子激光器　切入点：整形激光　出处：《真空科学与技术学报》2016年04期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了实现193 nm准分子激光器激光整形及均匀化,制作一种微透镜阵列光学元件。本文采用L_93~3多因子正交方法进行实验,获得3因子3水平下压缩模塑成型的微透镜阵列。通过Taylor Hobson轮廓仪测量微透镜阵列形状误差,并采用极差分析方法分析模具温度、保压压力、冷却时间3种工艺参数对形状误差的影响程度,确定微透镜阵列光学元件的最优工艺参数组合。结果表明:当模具温度为230℃,保压压力为120 MPa,冷却时间为30 s时,微透镜的形状误差最好,值为0.5276μm,满足193 nm准分子激光器激光整形及均匀化对微透镜阵列形状误差小、精度高等要求。
[Abstract]:In order to achieve the 193 nm excimer laser shaping and homogenization, making a micro lens array optical element. This paper adopts L_93~3 multi factor orthogonal experiment method, 3 factors and 3 levels of compression molding of micro lens array Taylor Hobson. By measuring the profile of micro lens array shape error, and using the methods of range analysis analysis of die temperature, pressure, influence of process parameters on the cooling time of 3 kinds of shape error, to determine the optimal combination of process parameters of microlens array optical element. The results show that when the mold temperature is 230 DEG C, holding pressure is 120 MPa, the cooling time is 30 s, the shape error of the micro lens for the best value 0.5276 m, meet the 193 nm excimer laser laser shaping and homogenization of micro lens array shape error is small, high accuracy requirements.

【作者单位】： 长春理工大学光电学院;
【基金】：国家自然科学基金合作项目(11474037)
【分类号】：TN248

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本文编号：1597998