高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制

发布时间：2018-03-11 12:01

  本文选题：非制冷　切入点：红外焦平面　出处：《红外技术》2017年09期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器。读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)电流差的积分电流(Iint),并能够有效抑制输入偏压噪声;同时采用逐行积分、逐列读出模式。氧化钒采用单层微桥工艺;像元桥臂间距缩至0.8mm,以尽可能增大桥面及VO_x面积,有效提高像元响应率。器件采用高可靠性的金属真空封装。测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 m K,响应率大于15 m V/K,热响应时间小于10 ms。
[Abstract]:A 640 脳 512 high performance 17 渭 m uncooled vanadium oxide infrared focal plane detector has been developed. The input stage of the readout circuit uses a mirror image circuit to obtain the integral current of the difference between blind pixel Rd and photosensitive pixel Rs. and it can effectively suppress the input bias noise. At the same time, line by line integral and row by row readout mode are used. Vanadium oxide is fabricated by single-layer microbridge process. The distance between the arms of the pixel bridge is reduced to 0.8 mm to maximize the area of the bridge deck and VO_x. The device adopts high reliability metal vacuum package. The test results show that the noise equivalent temperature difference (NETD) of the device is less than 45m KK, the responsivity is more than 15mV / Kand the thermal response time is less than 10ms.
【作者单位】： 北方广微科技有限公司;昆明物理研究所;
【分类号】：TN215

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本文编号：1598074