BAW梯型滤波器带外抑制调节电感的优化方法

发布时间：2018-03-12 23:11

本文选题：体声波谐振器　切入点：薄膜体声波谐振器　出处：《压电与声光》2016年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了使用最小的电感改善体声波(BAW)梯型滤波器的带外抑制,提出了一种BAW梯型滤波器带外抑制调节电感的优化方法,该方法对电感值进行了两次连续优化。首先分析了电感改善BAW梯型滤波器带外抑制的原理、结合单个薄膜体声波谐振器(FBAR)的静态电容公式并推导并联FBAR支路串联一个电感的输入阻抗表达式,得到在FBAR谐振区面积较大的并联支路,比在其他支路串联电感,对滤波器带外抑制的改善程度较大、电感值较小,该步确定了电感的最佳位置,随之确定的电感值较小;在此基础上,通过使上述卓越的带外抑制性能退化到带外抑制指标附近,电感值进一步减小。通过以上两次连续优化,能迅速确定一个最小的电感值及所在位置。结合一个31/2阶BAW梯型滤波器,验证了该优化方法的有效性。
[Abstract]:In order to improve the out-of-band suppression of BAW trapezoidal filter by using the minimum inductance, an optimization method for adjusting inductance is proposed. The inductance value is optimized twice by this method. Firstly, the principle of inductor improving the out-of-band suppression of BAW trapezoidal filter is analyzed. Combining with the static capacitance formula of a single thin film bulk acoustic resonator (FBA) and deducing the input impedance expression of a parallel FBAR branch in series, the parallel branch with larger area in the FBAR resonance region is obtained than the series inductor in the other branch. This step determines the optimal position of the inductor, and then the inductance value is small; on the basis of this, the inductance of the filter is improved greatly and the inductance value is small. The inductance is further reduced by degenerating the excellent out-of-band suppression performance to the out-of-band suppression index. A minimum inductance and its location can be determined quickly. The effectiveness of the optimization method is verified by combining a 31/2 order BAW ladder filter.
【作者单位】：西南科技大学信息工程学院;中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室;中国工程物理研究院电子工程研究所;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001) 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目(2016KF-02) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14ZXTK01)
【分类号】：TN713

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