InP基矩形马赫-曾德高速电光调制器行波电极设计与测试

发布时间：2018-03-21 15:38

  本文选题：集成光学　切入点：电光调制器　出处：《光子学报》2017年05期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：提出了一种由新型沟槽耦合器和90°弯曲波导构成的InGaAsP/InP基矩形马赫-曾德电光调制器,对该调制器的L型波导相移臂设计了T型类微带行波电极.首先利用电极的等效电路估算带宽上限,进而在考虑阻抗匹配、回波损耗以及带宽等性能的基础上,使用有限元方法对电极的传输、输入/输出以及过渡区的结构参量进行优化.仿真结果表明由于受到电极输入及过渡区的性能限制,设计的整体行波电极匹配阻抗大于42Ω,回波损耗小于-15dB,带宽可达65GHz.测试制备的Ti/Au行波电极,得到回波损耗为-12dB和带宽为20GHz的最优性能.
[Abstract]:A InGaAsP/InP based rectangular Mach Zende electro-optic modulator consisting of a new groove coupler and a 90 掳curved waveguide is proposed. The T-type microstrip traveling wave electrode is designed for the L-type waveguide phase-shifting arm of the modulator. Firstly, the upper bandwidth is estimated by using the equivalent circuit of the electrode, and then the performance of impedance matching, echo loss and bandwidth are considered. The finite element method is used to optimize the transmission, input / output and structural parameters of the transition region. The simulation results show that due to the limitation of the performance of the electrode input and transition region, The matching impedance of the whole traveling wave electrode is more than 42 惟, the echo loss is less than -15 dB, and the bandwidth is up to 65 GHz. The optimum performance of the Ti/Au traveling wave electrode is obtained with the echo loss of -12 dB and the bandwidth of 20 GHz.
【作者单位】： 北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室信息学部;School
【基金】：国家自然科学基金(No.61377059) 北京市自然科学基金(No.4142004) 教育部留学回国人员科研启动基金 2017年科技创新服务能力建设-科研基地建设-重点实验室-光电子技术教育部重点实验室(市级)项目(No.PXM2017-014204-500034)资助~~
【分类号】：TN761

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