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光刻机投影物镜光学镜片的光机热集成分析及软件实现

发布时间:2018-03-28 00:12

  本文选题:光学镜片 切入点:光机热集成分析 出处:《华中科技大学》2015年硕士论文


【摘要】:光刻机投影物镜光学镜片作为曝光系统的核心部件,其精度要求极高,常用的分析方法是将光学镜片的光机热分析采用专业软件进行分析。但不同软件之间模型或数据的交互可能会引起部分数据丢失,从而引起分析结果偏差。因而需要一种对镜片光机热进行集成分析的方法来完成各种分析类型之间的数据交互,从而实现镜片的整个分析过程,缩短设计周期。本文通过对光学镜片分析过程中的机械结构分析、热分析、光学分析过程进行简单介绍并细致地阐述了它们之间的耦合关系,列出了光机热集成分析结果评价方法。从而提出一种实现镜片光机热集成分析的方法:基于ModelCenter的流程集成分析,另外通过C++Builder开发环境设计辅助软件来完善流程分析的功能。根据提出的方案,实现了镜片光机热分析模型的参数化,建立了基于ModelCenter的镜片光机热参数化集成分析流程,实现了分析过程中不同分析类型之间数据的交互及过程的自动化,得到了镜片光学分析特性图。同时开发的辅助软件完善了流程集成分析的功能,为镜片光机热分析过程提供了方便的操作界面。用户根据需要设置和修改分析过程中的参数,选择合适的分析类型,运行结束后可直观查看对应的分析结果。
[Abstract]:As the core component of the exposure system, the projection objective lens of lithography machine requires very high precision. The commonly used analysis method is to use professional software to analyze the optical thermal analysis of optical lenses. However, the model or data interaction between different software may cause some data loss. Therefore, an integrated analysis method is needed to complete the data exchange between various types of analysis, so as to realize the whole analysis process of the lens. In this paper, the mechanical structure analysis, thermal analysis and optical analysis process of optical lens are briefly introduced and the coupling relationship between them is described in detail. In this paper, the evaluation method of thermal integration analysis result of optical machine is listed, and a method to realize thermal integration analysis of optical optical machine is put forward: process integration analysis based on ModelCenter, In addition, the function of flow analysis is improved by C Builder development environment design assistant software. According to the proposed scheme, the parameterization of thermal analysis model of lens optical machine is realized, and the integrated analysis flow of thermal parameterization of lens optical machine based on ModelCenter is established. The data exchange among different analysis types and the automation of the process are realized, and the optical analysis characteristic diagram of the lens is obtained. At the same time, the auxiliary software is developed to perfect the function of process integration analysis. The user sets and modifies the parameters in the analysis process according to the need, and selects the appropriate analysis type. After running, the corresponding analysis results can be viewed intuitively.
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2015
【分类号】:TN305.7

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本文编号:1673880

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