基于亚波长高对比度光栅的波前调控器设计

发布时间：2018-04-01 17:19

  本文选题：亚波长高对比度光栅　切入点：波前调控器　出处：《光子学报》2017年10期

【摘要】：基于严格耦合波分析法分析了亚波长光栅波前调控的方法,设计了具有凸透镜、锥透镜和闪耀光栅功能的三种亚波长光栅结构,以平面方式制备了具有聚焦和闪耀效果的三种微纳结构波前调控器.计算了不同光栅厚度、光栅齿和光栅槽宽度下的光栅透射率,通过选择合适光栅参数组合,得到三种波前调控器透射率均在97%以上.硅基平面结构与常规结构器件性能相比,平面和常规透镜、锥透镜在聚焦效果上,焦斑的半高全宽近似相等,峰值强度提高了1.64和2.35倍;平面相对常规闪耀光栅的峰值强度提高了3.77倍.
[Abstract]:Based on the rigorous coupled wave analysis method, three subwavelength grating structures with the functions of convex lens, conical lens and blazed grating are designed. Three kinds of micro-and nano-structure wavefront regulators with focusing and blazing effects are fabricated in a planar manner. The grating transmittance under different grating thickness, grating tooth and grating slot width is calculated, and the appropriate grating parameter combination is selected. The transmittance of the three wavefront regulators is all over 97%. Compared with the conventional structure, the focal spot in the plane lens and the conical lens is approximately equal in half height full width compared with the conventional structure. The peak intensity is 1.64 and 2.35 times higher than that of the conventional blazed grating and 3.77 times higher than that of the conventional blazed grating.
【作者单位】： 赣南师范大学物理与电子信息学院;北京工业大学电子科学与技术学院光子器件研究实验室;
【基金】：国家自然科学基金(No.61650404) 江西省教育厅科技项目(GJJ150998) 赣南师范大学校级科研课题(Nos.13kyz12,16zb04)资助~~
【分类号】：TN25

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本文编号：1696556