红外显微热成像系统研究及应用

发布时间：2018-04-03 14:04

  本文选题：红外热成像　切入点：红外探测器　出处：《红外技术》2017年11期

【摘要】：红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。
[Abstract]:Infrared microscopic thermal imaging system is based on infrared thermal imaging, infrared image processing and optical microscopy technology, which can analyze the temperature change of small objects or local details, and has the advantages of nondestructive testing and high sensitivity.In this paper, the research background of infrared micro-thermal imaging system is summarized, and its basic principle and system composition are introduced. The research status of infrared micro-thermal imaging system and its application in microelectronic device detection and medical diagnosis are summarized.The development of scientific experimental research and its problems are analyzed, and the future development trend of infrared microthermal imaging system is prospected.
【作者单位】： 上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室;上海交通大学纳微能源研究所;上海交通大学微纳电子学系;云南北方驰宏光电有限公司;
【基金】：云南省科技厅省院省校科技合作专项(2014IB007) 国家自然科学基金(5177060654) 云南省胡志宇专家工作站(编号:云科合发[2014]5号)
【分类号】：TN216

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本文编号：1705508