石英半球型微谐振器的仿真与加工

发布时间：2018-04-04 05:13

  本文选题：石英半球型微谐振器　切入点：半球谐振陀螺　出处：《压电与声光》2017年04期

【摘要】：该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581nm,保留了原子级别的光滑度。
[Abstract]:In this paper, the modal simulation of quartz hemispherical microresonator is carried out. The first ten modes and the mode suitable for gyroscope are analyzed, and the influence of the thickness of the resonator on the resonant frequency of four-wave abdomen mode is discussed.Quartz hemispherical microresonators were fabricated by glass blowing and wet etching. The conclusion that the wall thickness could be accurately controlled by wet etching was obtained by tracking different corrosion rates.The measured surface roughness of the resonator is only 0.581nm, which retains the atomic level of smoothness.
【作者单位】： 上海交通大学微纳电子学系微米/纳米加工技术重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61574093) 航空基金资助项目(2013ZC57003)
【分类号】：TN629.1

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1708515