基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法

发布时间：2018-04-27 09:28

  本文选题：晶圆制造系统 + 工业大数据　； 参考：《计算机集成制造系统》2017年10期

【摘要】：加工周期是晶圆制造系统的关键指标,对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划。利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题,设计了预测模型的动态更新机制;考虑到生产线数据记录不准确的情况,比较了多种回归算法,以实例验证了所提方法的有效性。
[Abstract]:The processing cycle is the key index of the wafer manufacturing system . For the accurate prediction analysis , it is helpful to help formulate an effective scheduling scheduling plan . By using the industrial large data of the wafer intelligent manufacturing system to extract the effective information , a frame for predicting the wafer processing period based on the industrial large data is put forward , and the dynamic updating mechanism of the prediction model is designed according to the dynamic change of the production line state over time , and a plurality of regression algorithms are compared in consideration of the inaccurate record of the production line data , and the validity of the proposed method is verified by an example .

【作者单位】： 同济大学CIMS研究中心;
【基金】：国家自然科学基金重大资助项目(71690234)~~
【分类号】：TN305

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本文编号：1810173