隔热笼提升速度对高效多晶硅定向凝固的影响

发布时间：2018-05-08 09:47

  本文选题：高效多晶硅锭 + 隔热笼　； 参考：《铸造技术》2017年10期

【摘要】：在多晶硅锭生长过程中,通过控制铸锭炉内隔热笼提升速度,可以获得杂质较少、少子寿命较长的高效多晶硅锭。试验将隔热笼提升速度分别设置为:1、5和12 mm/h。采用数值分析软件计算了硅锭内部的温度分布,并理论分析了产生该现象的原因。结果表明:隔热笼提升速度设置为5 mm/h时,硅锭整体缺陷相对较少、绝大部分杂质富集在硅锭周围且少子寿命较长区域所占比例较大。
[Abstract]:During the growth of polysilicon ingot, the high efficiency polysilicon ingot with less impurity and longer minority carrier life can be obtained by controlling the speed of heat insulation cage in the ingot furnace. The test set the hoisting speed of the cage to 1: 1 and 12 mm / h, respectively. The temperature distribution in silicon ingot is calculated by numerical analysis software, and the reason of this phenomenon is analyzed theoretically. The results show that when the lifting speed of the cage is set to 5 mm/h, the overall defects of the ingot are relatively small, and most of the impurities are concentrated around the ingot and the minority carrier lifetime is larger.
【作者单位】： 太原理工大学物理与光电工程学院;中国电子科技集团公司第二研究所;山西中电科新能源技术有限公司;
【基金】：山西省自然科学基金资助项目(2016011048)
【分类号】：TN304.12

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本文编号：1860910