碲锌镉晶体中微观缺陷分析

发布时间：2018-07-22 19:12

【摘要】：碲锌镉晶体(CdZnTe)是一种性能优异的红外焦平面探测器衬底材料,其质量的优劣将直接影响外延层的结构与性能,而晶体中的微观缺陷常常是影响衬底材料质量的主要因素之一。本文采用红外透射显微镜、金相显微镜、X射线形貌仪、扫描电镜、白光干涉仪等仪器系统地检测和研究了碲锌镉晶体中存在的微观缺陷。研究发现碲锌镉晶体样品中主要存在层错、孪晶界和包裹物等微观缺陷,结合晶体缺陷理论详细地分析了碲锌镉晶体中微观缺陷的形成机制。
[Abstract]:Cadmium zinc tellurium crystal (CdZnTe) is a kind of infrared focal plane detector substrate material with excellent performance. The quality of CdZnTe crystal will directly affect the structure and properties of the epitaxial layer. The microcosmic defects in the crystal are often one of the main factors affecting the quality of the substrate material. In this paper, infrared transmission microscope, metallographic microscope, scanning electron microscope, white light interferometer and other instruments were used to systematically detect and study the microcosmic defects in the crystal of cadmium zinc tellurium. It is found that the microdefects such as stacking faults, twin boundaries and inclusions exist in the crystal samples. The formation mechanism of microdefects in the crystals is analyzed in detail with the theory of crystal defects.
【作者单位】： 华北光电技术研究所;
【分类号】：TN213

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本文编号：2138293