硅基光电子发光材料与器件

发布时间：2018-08-29 14:55

【摘要】：用光子作为信息载体的光互连是硅集成电路的发展趋势之一,而硅基光互连的实现,必须发展与当前集成电路制造工艺兼容的高效硅基光源.本文概述了近年来国际上硅基光源的主要研究成果,重点介绍了我们研究组在硅量子点、硅晶体缺陷、硅基氮氧化物薄膜和硅基氧化物半导体薄膜发光材料与器件等方面的研究进展.
[Abstract]:Optical interconnection using photons as information carrier is one of the development trends of silicon integrated circuits, and the realization of silicon based optical interconnection must develop high efficiency silicon based light source compatible with the current IC manufacturing process. In this paper, the main research achievements of silicon based light source in recent years are summarized, and the defects of silicon crystal in our research group are mainly introduced. Progress in Si-based nitrogen oxide thin Films and Silicon-based Semiconductor thin Films in luminescent Materials and Devices.
【作者单位】： 浙江大学材料科学与工程学院硅材料国家重点实验室;
【基金】：国家重点基础研究发展计划(编号:2013CB632102)资助项目
【分类号】：TN303;TN304

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本文编号：2211551