基于实验室管理的微结构设计及特性分析

发布时间：2018-09-08 18:11

【摘要】：为了实现表面等离子器件的光电集成应用,采用典型的金属-介质-金属中刻蚀2条紧邻的缝隙结构,设计了一种新型的定向耦合器。分析本征模式的波导方程、反转粒子数与时间关系,得到了定向耦合器的耦合条件。耦合器特性分别表明:设计的缝隙结构表面等离子能够通过缝隙1向缝隙2渗透,可以实现表面等离子在缝隙间的周期性传播,表面等离子传播在2μm左右;耦合距离与缝隙大小表现为线性的关系,当缝隙大小小于100nm时,能够实现更高的耦合效率、更短的耦合距离;设计的定向耦合器可以通过减小缝隙大小提高表面等离子传播的耦合效果。
[Abstract]:In order to realize the photoelectric integrated application of surface plasma devices, a new type of directional coupler is designed using two adjacent slot structures etched in a typical metal-dielectric metal. The waveguide equation of intrinsic mode and the relation between the number of inversion particles and time are analyzed and the coupling conditions of directional coupler are obtained. The characteristics of the coupler show that the surface plasma of the designed slot structure can penetrate through the gap 1 to the gap 2, which can realize the periodic propagation of the surface plasma between the gaps, and the surface plasma propagates at about 2 渭 m. The relationship between the coupling distance and the gap size is linear. When the gap size is smaller than 100nm, it can achieve higher coupling efficiency and shorter coupling distance. The designed directional coupler can improve the coupling effect of surface plasma propagation by reducing the gap size.
【作者单位】： 海南热带海洋学院;
【基金】：2014年海南省高等学校科学研究项目(HNKY2014—2015) 2016年海南省社会科学项目(HNSK(YB)) 2016年海南省社会科学研究项目(HNSK(YB)) 2016年海南省社会科学研究(HNSK(YB))
【分类号】：TN622

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2231294