微纳集成电路和新型混合集成技术

发布时间：2018-10-19 20:50

【摘要】：随着摩尔定律的不断推进,集成电路产业迎来了巨大发展机遇的同时,也面临着前所未有的发展瓶颈和技术挑战.论文围绕创新的微纳集成电路和新型混合集成技术领域的基础理论和关键技术问题,聚焦在新型低功耗器件及电路理论,纳米尺度单片集成电路技术、微纳传感和异质集成融合技术等方向,开展了比较广泛和深入的国内外研究现状与发展趋势综述,旨在为人们提供一个相对全面的"后摩尔"时代集成电路创新理论与技术发展脉络图,也尝试为新型应用驱动的集成电路技术与产品开发描绘出新的路线图.
[Abstract]:With the development of Moore's Law, the integrated circuit industry is facing unprecedented development bottleneck and technical challenge. This paper focuses on the basic theory and key technical problems in the field of innovative micro / nano integrated circuits and new hybrid integrated technology, focusing on the new low power devices and circuit theory, the nanoscale monolithic integrated circuit technology. In the fields of micro / nano sensing and heterogeneous integrated fusion technology, the current research situation and development trend at home and abroad have been reviewed. The aim is to provide a relatively comprehensive development of integrated circuit innovation theory and technology in the "post-Moore" era, and also try to draw a new road map for the new application driven integrated circuit technology and product development.
【作者单位】： 复旦大学微电子学院;北京大学信息科学技术学院;
【分类号】：TN45

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本文编号：2282322