一种利用迭代法实现的熔丝修调方案

发布时间：2019-04-02 03:47

【摘要】：随着集成电路的迅速发展,测试过程中熔丝修调的精度受到越来越多的重视。在某些产品熔丝步距一致性欠佳的情况下,传统的查表法熔丝修调方案已经无法满足当下的精度要求,从而表现为测试过程中区域性或批次性的低良率,造成人力、物力的损失。将迭代法应用到熔丝表的计算中去成为了提升测试精度的必然趋势。采用迭代法的熔丝方案可以根据圆片当前区域的熔丝步距实时调整熔丝表,提升测试良率和测试精度。
[Abstract]:With the rapid development of integrated circuits, more and more attention has been paid to the precision of fuse modification in the test process. In the case of the poor consistency of fuse step in some products, the traditional method of looking up the table method can no longer meet the current precision requirements, thus the performance of the test process in the process of regional or batch low yield, resulting in manpower, A loss of material resources. It is an inevitable trend to improve the precision of test by applying iterative method to the calculation of fuse table. The fuse table can be adjusted in real time according to the fuse step in the current region of the wafer, and the test yield and precision can be improved by using the method of iteration.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第58研究所;
【分类号】：TN407

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本文编号：2452205