640x512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

发布时间：2019-05-08 14:05

【摘要】：介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展。在640×512规模20μm中心距面阵上,偏振焦平面采用了2×2子单元设计,子单元中每个像元分别刻蚀0°、90°、45°以及135°方向的一维线性光栅,来获得入射光不同偏振角度的信息。突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术,制备出面阵探测器芯片,实现了偏振长波红外探测的单片集成,配上杜瓦和制冷机,研制出噪声等效温差优于30m K的长波偏振640×512量子阱探测器组件。
[Abstract]:The development of large-area array polarization long-wave quantum well infrared focal plane detector module is introduced in this paper. On the 640 脳 512 scale 20 渭 m center-distance array, the polarization focal plane is designed with 2 脳 2 subunits. Each pixel in the sub-unit is etched with one-dimensional linear gratings in the directions of 0 掳, 90 掳, 45 掳and 135 掳, respectively, to obtain the information of different polarization angles of the incident light. By breaking through the key technologies of long wave quantum well material epitaxy and device fabrication, the planar array detector chip has been fabricated, and the monolithic integration of polarization long wave infrared detection has been realized, equipped with Dewar and refrigerator. A long wave polarizing 640 脳 512 quantum well detector module with noise equivalent temperature difference better than 30m K is developed.
【作者单位】： 昆明物理研究所;
【分类号】：TN215

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本文编号：2471966