多路超导接收系统用矩形静态真空室设计

发布时间：2020-02-23 03:16

【摘要】：介绍设计了一种供多路超导滤波器正常工作的矩形静态真空室。通过对真空室材料选择、壁厚计算,设计完成矩形真空室焊接、密封结构;设计制定了合理的真空室加工、材料烘烤除气、防辐射热工艺;通过试验固化了馈线接头激光密封焊接参数。将制造完成的矩形静态真空室进行漏率检测及实际应用,该矩形静态真空室完全满足多路超导接收系统全扇区滤波的应用要求。
【图文】：

真空室,密封结构,矩形,CF法

的密封方式进行密封。真空室法兰盖与真空室上法兰座设计为“凹凸”结构形式，也采用金属铟丝密封。矩形真空室射频馈线接口数量较多，为此经过反复论证设计与试验，设计了可独立更换的馈线穿墙接头CF法兰，通过铜垫与焊接在真空室筒身的金属CF法兰进行螺纹连接，实现馈线穿墙的高真空金属密封。该结构不但实现了馈线接头与真空室壁面的穿墙密封，而且焊接好的馈线接头法兰成为了一个单独可更换的零部件，，在馈线接头与金属CF法兰激光焊接密封指标不合格时或损坏时，实现馈线接头法兰的快速更换，提高效率节约成本。图3为矩形真空室的密封结构图。为使矩形真空室实现静态真空状态工作，在真空室零部件经过特定除气等工艺处理后，设计了真空室预留抽气口密封组件(如图4所示)。该组件有金属CF法兰、铜管、KF法兰组成，在实现抽气口密封组件与真空室的铜垫密封后，还能实现真空室整体与外界的最终静态密封，最终静态密封采用铜管冷焊钳夹封或安装小体积高真空阀门进行密封，该结构可对真空室真空度失效后进行多次拆卸补抽真空，而不破坏整个真空室结构，实现真空的可维护功能。1．真空室法兰盖与上法兰座密封铟丝;2．密封铜垫;3．馈线接头与金属CF法兰焊接处;4．馈线接头;5．馈线接头金属CF法兰;6．金属CF法兰与真空室筒身焊接处图3矩形真空室密封结构图Fig．3Thesealstructureoftherectangularvacuumchamber图4预留抽气口密封组件Fig．4Thereservedairextractsopeningsealingcomponents5真空室制作工艺设计5．1加工、焊接要求(1)所有加工真空零部件的机械设备、工具必须具备必要的洁净度，车间环境整洁，来满足高真空的要求。(2)在金属零件加工中采用的冷却液中不能含有卤素。(3)为保证金属法兰的重复性和互换性，其加

密封组件,抽气口,真空室

证设计与试验，设计了可独立更换的馈线穿墙接头CF法兰，通过铜垫与焊接在真空室筒身的金属CF法兰进行螺纹连接，实现馈线穿墙的高真空金属密封。该结构不但实现了馈线接头与真空室壁面的穿墙密封，而且焊接好的馈线接头法兰成为了一个单独可更换的零部件，在馈线接头与金属CF法兰激光焊接密封指标不合格时或损坏时，实现馈线接头法兰的快速更换，提高效率节约成本。图3为矩形真空室的密封结构图。为使矩形真空室实现静态真空状态工作，在真空室零部件经过特定除气等工艺处理后，设计了真空室预留抽气口密封组件(如图4所示)。该组件有金属CF法兰、铜管、KF法兰组成，在实现抽气口密封组件与真空室的铜垫密封后，还能实现真空室整体与外界的最终静态密封，最终静态密封采用铜管冷焊钳夹封或安装小体积高真空阀门进行密封，该结构可对真空室真空度失效后进行多次拆卸补抽真空，而不破坏整个真空室结构，实现真空的可维护功能。1．真空室法兰盖与上法兰座密封铟丝;2．密封铜垫;3．馈线接头与金属CF法兰焊接处;4．馈线接头;5．馈线接头金属CF法兰;6．金属CF法兰与真空室筒身焊接处图3矩形真空室密封结构图Fig．3Thesealstructureoftherectangularvacuumchamber图4预留抽气口密封组件Fig．4Thereservedairextractsopeningsealingcomponents5真空室制作工艺设计5．1加工、焊接要求(1)所有加工真空零部件的机械设备、工具必须具备必要的洁净度，车间环境整洁，来满足高真空的要求。(2)在金属零件加工中采用的冷却液中不能含有卤素。(3)为保证金属法兰的重复性和互换性，其加工必须采用数控机床，在加工过程中，必须用专用盖保护密封刀口及密封面不受损伤。(4)所有焊接件在焊接前必须进行超声波·52·超导技术Superconductivi

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