过共晶铝硅合金电磁凝固过程中初生硅分离和提纯的研究
【图文】:
|_丨亨呡逡逑t邋0产品出口逡逑硅烷与氯气入u邋?逡逑图1.3邋(a)流化床法制备示意图[5];邋(b)流化床法制备的多晶硅颗粒[1]逡逑Fig.邋1.3邋(a)邋FBR邋the邋challenging邋polysilicon邋technology15];邋(b)邋FBR邋polysilicon邋granules⑴逡逑-3邋-逡逑
I邋III邋;邋n逡逑If邋|邋!:|逡逑H11邋a邋I邋I邋I邋IS逡逑SiHCI3.H删邋\ri」^M.-Jll邋丨*—-£g||g逡逑图1.2邋(a)钟罩型还原炉示意图|5];邋(b)西门子法生产的多晶硅棒[1]逡逑Fig.邋1.2邋(a)邋Schematic邋diagram邋of邋bell邋type邋reduction邋furnace151;邋(b)邋polysilicon邋rods[1]逡逑硅烷法制造多晶硅也是一种化学方法[1°, ̄,核心工艺是利用高纯度硅烷(SiH4)在反应逡逑器中热分解为高纯度硅。硅烷法与改良西门子法接近,只是中间产物不同,,改良西门法中间逡逑产物是SiHCl3,而硅烷法的中间产物是SiH4。将中间产物SiH4在873 ̄1073邋K温度区间进行逡逑热分解制备多晶硅颗粒。硅烷法生产粒状多晶硅的分解温度较低,电耗仅为改良西门子法的逡逑1/10,电耗成本是多晶硅生产的主要成本,一般占生产成本的20?40%,从电耗成本指标来逡逑看,硅烷法同改良西门子相比,成本上有明显的优势。日本小松公司曾采用该技术进行生产,逡逑然而在生产过程中容易出现爆炸现象,最终导致该方法没有被进一步大规模推广生产[12]。逡逑(a)邋ff邋A/
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TN304.12
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本文编号:2691820
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