熔石英元件抛光表面的亚表面损伤研究

发布时间：2020-11-13 02:17

　　 通过结合HF酸洗和微分干涉差显微成像对两组抛光元件的亚表面损伤进行直接观测和分析。结果显示微分干涉差显微成像相比于传统的明场成像具有更好的分辨率,可以更有效检测HF酸洗后暴露的各种浅塑性亚表面损伤。对两组抛光元件的亚表面损伤的对比分析发现熔石英元件在抛光中会产生大量的亚表面损伤,这些亚表面损伤绝大多数是浅塑性的划痕和坑,仅有少量的脆性断裂损伤,较大的抛光颗粒会产生更多更严重的亚表面损伤,并且这些亚表面损伤被表面沉积层所掩盖,表面粗糙度不能反映亚表面损伤的严重程度。
【文章目录】：
1 实验方法
2 结果和讨论
3 结论

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 叶卉;杨炜;胡陈林;毕果;彭云峰;许乔;;磨削加工光学元件亚表面损伤探究[J];强激光与粒子束;2014年09期

2 刘华松;刘杰;王利栓;姜玉刚;冷健;季一勤;;具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计[J];红外与激光工程;2013年10期

3 田爱玲;田玉珺;王春慧;潘永强;王红军;刘丙才;朱学亮;;聚焦光在亚表面损伤介质中的散射特性[J];强激光与粒子束;2014年09期

4 马彬;沈正祥;张众;贺鹏飞;季一勤;刘华松;刘丹丹;王占山;;低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术[J];强激光与粒子束;2010年09期

5 张伟;朱健强;;磷酸盐钕玻璃表面/亚表面损伤特性实验研究[J];光学学报;2008年02期

6 向勇;任杰;白满社;陈静;张晋宽;;微晶玻璃研磨加工亚表面损伤深度预测方法及测量[J];中国激光;2014年07期

7 田爱玲;王辉;王春慧;;光学元件亚表面损伤的激光散射仿真研究[J];中国激光;2013年09期

8 陈梅云;吴海韵;傅伟强;郭隐彪;;光学元件微纳加工亚表面损伤去除特性分析[J];厦门大学学报(自然科学版);2013年06期

9 刘健;马占龙;王君林;;光学元件亚表面损伤检测技术研究现状[J];激光与光电子学进展;2011年08期

10 朱杰;张志萌;马爽;;低亚表面损伤的YCOB晶体超精密抛光[J];人工晶体学报;2013年06期

相关博士学位论文 前6条

1 王建彬;固结磨料研磨蓝宝石工件的材料去除机理及工艺研究[D];南京航空航天大学;2015年

2 戴子华;固结磨料研磨K9玻璃亚表面损伤研究[D];南京航空航天大学;2015年

3 王卓;光学材料加工亚表面损伤检测及控制关键技术研究[D];国防科学技术大学;2008年

4 赵明利;多频率超声辅助磨削纳米氧化锆陶瓷表面/亚表面损伤机理研究[D];河南理工大学;2010年

5 周旭升;大中型非球面计算机控制研抛工艺方法研究[D];国防科学技术大学;2007年

6 王强国;KDP晶体精密切割与磨削工艺的研究[D];大连理工大学;2010年

相关硕士学位论文 前10条

1 壮筱凯;超声波雾化施液技术抛光硅片的表层损伤研究[D];江南大学;2015年

2 田玉珺;光在亚表面损伤介质中的传播特性研究[D];西安工业大学;2015年

3 朱晓娟;亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究[D];南京理工大学;2015年

4 张瑜;蓝宝石高效低损伤加工工艺研究[D];大连理工大学;2015年

5 李改灵;光学材料磨削加工亚表面损伤测量的理论与实验研究[D];国防科学技术大学;2006年

6 高平;光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究[D];南京航空航天大学;2012年

7 吴沿鹏;光学元件磨抛加工亚表面损伤分析与检测技术研究[D];厦门大学;2014年

8 陈森凯;单晶SiC基片超精密加工表面及亚表面损伤研究[D];广东工业大学;2014年

9 刘超;工程陶瓷磨削表面/亚表面损伤的模型建立和实验研究[D];天津大学;2007年

10 郎艳菊;CZT晶体加工表面/亚表面损伤研究[D];大连理工大学;2008年

本文编号：2881581