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CMOS太赫兹探测器电路研究与设计

发布时间:2020-12-17 03:48
  作为新兴的无损探测技术,太赫兹探测广泛应用于生物医学成像、安全检查、品质探测等领域,精准、便携式太赫兹探测器的研究与设计成为当前无损探测领域的研究方向,更是太赫兹技术应用与研究的热点,对现代科学、国民经济、国防建设具有重大意义。传统光学方法构建的太赫兹探测器体积庞大,成本高昂,种种局限使其很难推广普及在应用市场。然而,目前CMOS器件的特征尺寸已进入10nm,晶体管截止频率ft突破了500GHz,以微电子学方法实现太赫兹单片集成电路(TMIC)已从工艺硬件上获得了可行性。相比光学方法,以CMOS工艺实现的探测系统体积小、易于集成、对环境温度要求低,在太赫兹应用中具有较大的优势。本文针对传统太赫兹探测器体积庞大、探测频段单一的问题,基于CMOS工艺,提出了多环天线嵌套的太赫兹探测电路结构,并对多种太赫兹探测器电路进行了分析与设计,实现了多频段探测的功能,为太赫兹固态电路小型化、多频段探测技术的发展提供了关键理论与技术支持,也将为其在无损探测领域的实际应用开辟广阔前景。具体研究内容与结果归纳如下:(1)研究了基于场效应管的太赫兹探测原理,对共源结构探测电路和共栅差分结... 

【文章来源】:江苏大学江苏省

【文章页数】:67 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

CMOS太赫兹探测器电路研究与设计


工艺剖面图

输入阻抗,电路,探测器,槽天线


bVoutV(c)图 3.3 探测器电路模型图Fig. 3.3 The circuit model of detector circuit槽天线连接栅极的共源探测器(Detector2)电路结共源探测器(Detector3)电路结构,区别是在晶的耦合。图 3.3(c)是单环天线连接晶体管的源极。在 300GHz 的时候,共源探测电路的输入阻抗为

开槽天线,圆形,槽天线,名称


图 3.5 圆形开槽天线Fig. 3.5 Circular slot antenna寸如表 3.2 所示:表 3.2 圆形开槽天线尺寸Tab. 3.2 Size of the circular slot antenna值(μm) 名称 值(μm) 名称63 W1 4 R116 W2 30 R228.8 W3 30 R360 W5 7.715槽天线 S11 如图 3.6 所示:

【参考文献】:
期刊论文
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硕士论文
[1]高温超导太赫兹源辐射分布与室温光电显微镜的研究[D]. 朱强.南京大学 2016



本文编号:2921355

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